AE Fixed Match半導体RF整合器

MKS無線周波電源RD 5060 Z 60 MHz 2000 W

MKS無線周波電源53-S 30-64 63.87 MHz 18 KW

AE無線周波電源RFG 5500 MN 3155050501-015

AE無線周波電源RFG 3001 13.56 MHz 3 KW

Voltage Monitor VMU-01 A 1半導体電圧モニタ

MKS Revolution RPS AX 7690リモートプラズマソース

MKS ASTRON 2 L RPS半導体遠隔プラズマ源

COMET無線周波数ネットワーク整合器1000828 RF Match

COMET無線周波数ネットワーク整合器1034138 RF Match

AE無線周波電源Cesar 0230 2 MHz 3000 W

AE無線周波電源パラマウントMF 15002 15 KW