AE無線周波電源パラマウントMF 15002 15 KW

AE無線周波電源パラマウントMF 15002 15 KW1.8-2.17 MHz無線周波数発生器現場で長期にわたって検証された安定した出力能力と制御能力を持つ高性能無線周波電源であり、実際の運転過程で優れた技術安定性を示した。AEパラマウントシリーズの無線周波数電源は優れた成膜能力を持ち、半導体薄膜プロセスに広く応用されており、この型の無線周波数電源は成膜速度が速く、効率が高く、生産ライン効率と製品良率をある程度高めることができる。MF 15002無線周波電源は無線周波数出力の正確な制御を実現でき、半導体プロセスでスパッタリング、CVD、PECVD、エッチングプロセスには多くの応用と良好な表現が存在する。

AE無線周波電源パラマウントMF 15002 15 KWパラメータ仕様

設備ブランド：AE（Advanced Energy）

設備型式：パラマウントMF 15002

AC電源入力：3 phase ~+PE、200 ~ 28 V、50/60 Hz、70 A

RF無線周波数出力：15 KW、1.8 ~ 2.17 MHz、＜1000 Vrms

通讯接口：同期入出力、CEX入出力、マッチング、ユーザ、シリアル、ENET

設備放熱：水冷放熱

水冷入水需要：MAX入水圧力6.9 Bar/690 kPa