MKS無線周波電源53-S 30-64 63.87 MHz 18 KW

ネゴシエーション可能更新05/15

モデル

メーカーの性質: 生産者

製品カテゴリー

原産地

オンライン相談

概要

MKS無線周波電源53-S 30-64 63.87 MHz 18 KW RF Generatorは、長期にわたって現場検証された優れたプロセス安定性と制御能力を有する高性能無線周波電源である。

製品詳細

MKS無線周波電源53-S 30-64 63.87 MHz 18 KW むせんしゅうははっせいき現場検証を経た信頼性と安定した出力能力を持つ優れた無線周波数発生器であり、実機検証において優れたプロセス安定性と出力制御能力を体現している。この型無線周波電源は無線周波数出力の正確な制御を実現でき、半導体プロセススパッタリング、CVD、PECVD、エッチングなどのプロセスにおいて、かつ優れた表現を有する。RD 5060 Z無線周波数電源は優れた成膜能力を有し、半導体薄膜プロセスにおいて、成膜速度が速く、効率が高く、品質が良いという利点があり、ある程度生産ライン効率と歩留まりを向上させることができ、非常に広範な応用がある。

MKS無線周波電源53-S 30-64 63.87 MHz 18 KW RF Generatorパラメータ仕様

設備ブランド：MKS

設備型番：53-S 30-64

AC電源入力：3 phase ~、380/400 VAC±10%、16 A、50/60 Hz

RF無線周波数出力：63.87 MHz、18 KW Pulsed、540 Watts、50Ω

通信インタフェース：Remote，RS-232 C

設備放熱：空冷放熱

同類製品の推奨