AE無線周波電源RFG 3001 13.56 MHz 3 KW

AE無線周波電源RFG 3001 13.56 MHz 3 KWむせんしゅうははっせいき長期にわたって検証された優れたプロセス安定性と制御能力を有する高性能無線周波電源であり、無線周波数出力の正確な制御を実現でき、半導体スパッタリング、エッチング、CVD、PECVDなどのプロセスプロセスにおいて優れた表現を持つ。AE RFGシリーズ無線周波数電源は優れたプロセス安定性と無線周波数制御能力を有し、無線周波数出力の正確な制御を実現することができる。RFGシリーズ無線周波電源は良好な成膜能力を持ち、成膜速度が速く、効率が高く、半導体プロセス薄膜プロセスに広く応用され、生産ライン効率と製品良率をある程度高めることができる。このタイプの無線周波数電源は全体的にコンパクトな設計を採用しており、コンパクトで便利で、お客様の使用コストを削減することができます。

AE無線周波電源RFG 3001 13.56 MHz 3 KWむせんしゅうははっせいきパラメータ仕様

設備ブランド：AE（Advanced Energy）

設備型番：RFG 3001

AC電源入力：3 phase ~、~ 28 V/PE、50/60 Hz

RF無線周波数出力：13.56 MHz、3000 W、387 V ~

通信インタフェース：Control，CEX

設備放熱：水冷放熱

水冷入水需要：MAX入水圧力6.9 Bar/690 kPa