MKS無線周波電源RD 5060 Z 60 MHz 2000 W

MKS無線周波電源RD 5060 Z 60 MHz 2000 Wむせんしゅうははっせいき現場検証を経た信頼性と安定した出力能力を持つ優れた無線周波数発生器であり、実機検証において優れたプロセス安定性と出力制御能力を体現している。この型無線周波電源は無線周波数出力の正確な制御を実現でき、半導体プロセススパッタリング、CVD、PECVD、エッチングなどのプロセスにおいて、かつ優れた表現を有する。RD 5060 Z無線周波数電源は優れた成膜能力を有し、半導体薄膜プロセスにおいて、成膜速度が速く、効率が高く、品質が良いという利点があり、ある程度生産ライン効率と歩留まりを向上させることができ、非常に広範な応用がある。

MKS無線周波電源RD 5060 Z 60 MHz 2000 Wむせんしゅうははっせいきパラメータ仕様

設備ブランド：MKS

設備型番：RD 5060 Z

AC電源入力：3 phase ~、480 V、15 A

RF無線周波数出力：DUAL 2.0 KW、60 MHz

通讯接口：CEX入出力、Profibus、イーサネット、同期入出力、予約、RS-232 C

設備放熱：水冷放熱

設備重量：445 kg、98 lbs