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大ストローク、垂直精密Z方向位置決め器圧電セラミックナノテーブル

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真空ターンテーブル10のマイナス5乗pa（コントローラ含む）

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電動XY 2次元シフトテーブルX軸± ;200 mm，Y軸± ;40mm

リニアモータの高速延伸ステージは百万回連続運転可能