- メール
- 電話番号
-
アドレス
北京市海淀区知春路108号豪景ビルB座1103室
北京派迪威計器有限公司
概要
大ストローク、垂直精密Z方向位置決め器圧電セラミックナノテーブルNM-300のカスタム価格はご連絡ください
製品詳細
製品の価格を決めたらカスタマーサービスに連絡してください
製品説明：
NM−300コンパクトリニアナノポジショニングテーブルは、X方向に沿って100μm以上のストロークの運動を提供することができる。コンパクトな設計により、多くのフォトニクスおよび光ファイバ測位アプリケーションに最適なツールになります。Z軸ナノポジショニング線形変位テーブルは、圧電セラミック駆動に基づく線形変位テーブルである。
このナノ変位テーブルは高信頼性多層低圧圧電スタックセラミックスを駆動素子として採用し、有限要素最適化の集積状態フレキシブルガイドシステムを利用して良好な平行運動を確保することができる。摩擦のない柔軟性機構を採用しているため、圧電変位台はメンテナンスが不要で、摩耗がなく、迅速な応答と迅速で安定した性能を持っており、ステッピングや連続スキャンなどの位置決め制御に適しています。圧電セラミックアクチュエータは樹脂絶縁である。これにより、漏れ電流が増大して故障するのを防ぐことができます。その寿命は問題なく1000億サイクルを実行できることが証明された。
閉ループバージョンには高分解能歪みシート式位置センサがあり、高精度で反復可能な運動を実現でき、圧電セラミックスのクリープを補償することもできる。センサは全閉ループブリッジ設計を採用している。開ループまたは閉ループ制御で動作することができます。
製品パラメータ：
| モデル | NM-300 | NM-300S | 公差（こうさ） |
| うんどうじく | Z | Z | |
| 統合センサ | ビーコン標準技術サービス有限会社 | ||
| 公称ストローク範囲(@0 ~+120 V) | 300ミクロン | 300ミクロン | ±10% |
| 最大ストローク範囲（@-20 ~+150 V） | 350ミクロン | 350ミクロン | ±20% |
| 解像度 | 3.0ナノメートル | 6.0ナノメートル | タイプ。 |
| 最小移動ステップ数 | 10nm | 10ナノメートル | タイプ。 |
| リニアエラーcha | 0.2% | タイプ。 | |
| 繰り返し位置決め精度（全ストローク） | 0.1% | タイプ。 | |
| 角度振子偏差（ピッチ/ヨー/ロール） | 50μrad | 50μrad | タイプ。 |
| しじのうりょく | 10N | 10N | 数値または数量の後で一般的に使用される |
| 共振周波数（0 g） | 360ヘルツ | 360ヘルツ | ±20% |
| 運動方向剛性 | 0.25N/μm | 0.25N/μm | ±20% |
| 運動方向推力/引力 | 10N/8N | 10N/8N | ±20% |
| くどうきこう | ピエゾセラミックス | ピエゾセラミックス | |
| 動作温度範囲 | -20~+80℃ | -20~+80 °℃ | タイプ。 |
| ケーブル長 | 1.5メートル | 1.5メートル | ±10mm |
| 中空寸法 | |||
| 外形寸法（長さ×幅×高さ） | 50×50×17.5 mm | 50×50×17.5 mm | |
| 重さ | 250グラム | 250グラム | ±5% |
| PZT&Sensorコネクタ | レモ | レモ | |
| 本体材質 | スチール、アルミニウム | スチール、アルミニウム |
注：すべての規格パラメータは室温（22°C±3°C）測定に基づいており、詳細については、お問い合わせください。表中の"-"は適用されないことを示しています。
1.接尾辞「-S」は閉ループであり、位置センサを内蔵している。開ループ接尾辞には「S、線形誤差、反復度データはありません。
2.最大駆動電圧は-20 V ~+150 Vであり、信頼性の高い長期使用には、駆動電圧は0.+120 Vであることを提案し、より大きなストロークはお問い合わせください。工場出荷時は公称ストロークと呼ばれている。
3.分解能すなわち位置決めノイズ。圧電セラミックナノポジショニングシステムは摩擦がないため、システム分解能は増幅器ノイズと測定技術によってのみ制限される。通常はRMS（1σ）値を使用して測定と指定を行います。
4.干渉計によって測定された圧電プラットフォームの移動可能な最小ステップ値を指し、それは主に圧電コントローラのDAC解像度によって決定される。最適な場合、パラメータテーブルには16-Bitに対応するシフトステップ値があります。
5.軸方向荷重、より高い荷重は、公称荷重を超えると可撓性機構に損傷を与えることに注意してお問い合わせください。
6.ケーブルの長さを長くするには、お問い合わせください。
7.テーブル重量はケーブル及びコネクタの重量を含まない。
8.公差におけるMax.は最大値を表し、typ.は標準的な典型的なデータ値を表し、検出レポートには実際の測定データ値が与えられる。
製品サイズ：
