小型、コンパクトな線形圧電セラミックナノポジショニングテーブル

ネゴシエーション可能更新05/06

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概要

小型・小型リニア圧電セラミックナノポジショニングテーブルNM-030の製品価格はお問い合わせください

製品詳細

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製品説明：

NM-030コンパクトリニアナノポジショニングテーブルは平行運動学機械設計構造を採用し、その変位はZ方向に沿って30μmストロークの運動を提供することができる。コンパクトな設計により、多くのフォトニクスおよび光ファイバ測位アプリケーションに最適なツールになります。

Z軸ナノポジショニング線形変位テーブルは、圧電セラミック駆動に基づく線形変位テーブルである。

NM−030変位テーブルは、すべての自由度の位置決めを提供するためにXYおよび圧電偏向回転システムと容易に組み合わせて使用することができる。閉ループバージョンには高分解能歪みシート式位置センサがあり、高精度で反復可能な運動を実現でき、圧電セラミックスのクリープを補償することもできる。センサは全閉ループブリッジ設計を採用している。開ループまたは閉ループ制御で動作することができます。

NM−030は、特に長期安定性を必要とする用途において、ミラーやレーザダイオードなどの小部品のナノスケール精密な位置決めに適している。

製品パラメータ：

モデル	NM-030	NM-030S	公差（こうさ）
うんどうじく	Z	Z
統合センサ		ビーコン標準技術サービス有限会社
公称ストローク範囲(@0 ~+120 V)	30ミクロン	30ミクロン	±5%
最大ストローク範囲（@-20 ~+150 V）	38ミクロン	38ミクロン	±20%
解像度	0.3ナノメートル	0.6ナノメートル	タイプ。
最小移動ステップ数	1.0ナノメートル	1.0ナノメートル	タイプ。
リニアエラーcha		0.02%~0.05%	タイプ。
繰り返し位置決め精度（全ストローク）		0.05%	タイプ。
角度振子偏差（ピッチ/ヨー/ロール）	5μrad	5μrad	タイプ。
しじのうりょく	8N	8N	数値または数量の後で一般的に使用される
共振周波数（0 g）	350Hz	350ヘルツ	±20%
運動方向剛性	0.5N/μm	0.5N/μm	±20%
運動方向推力/引力	30N/10N	30N/10N	±20%
くどうきこう	ピエゾセラミックス	ピエゾセラミックス
動作温度範囲	-20~+80℃	-20~+80 °℃	タイプ。
ケーブル長	1.5メートル	1.5メートル	±10mm
中空寸法
外形寸法（長さ×幅×高さ）	27×27×20mm	27×27×20mm
重さ	40グラム	40グラム	±5%
PZT&Sensorコネクタ	レモ	レモ
本体材質	スチール、アルミニウム	スチール、アルミニウム

注：すべての規格パラメータは室温（22°C±3°C）測定に基づいており、詳細については、お問い合わせください。表中の"-"は適用されないことを示しています。

1.接尾辞「-S」は閉ループであり、位置センサを内蔵している。開ループ接尾辞は"-Sを持たず、線形誤差、反復度データはありません。

2.最大駆動電圧は-20 V ~+150 Vであり、信頼性の高い長期使用には、駆動電圧は0…+120 Vであることを提案し、より大きなストロークはお問い合わせください。工場出荷時は公称ストロークと呼ばれている。

3.分解能すなわち位置決めノイズ。圧電セラミックナノポジショニングシステムは摩擦がないため、システム分解能は増幅器ノイズと測定技術によってのみ制限される。通常はRMS（1σ）値を使用して測定と指定を行います。

4.干渉計によって測定された圧電プラットフォームの移動可能な最小ステップ値を指し、それは主に圧電コントローラのDAC解像度によって決定される。最適な場合、パラメータテーブルには16-Bitに対応するシフトステップ値があります。

5.軸方向荷重、より高い荷重は、公称荷重を超えると可撓性機構に損傷を与えることに注意してお問い合わせください。

6.ケーブルの長さを長くするには、お問い合わせください。

7.テーブル重量はケーブル及びコネクタの重量を含まない。

8.公差におけるMax.は最大値を表し、typ.は標準的な典型的なデータ値を表し、検出報告書には実際の測定データ値が与えられる

製品サイズ：

小体积、紧凑型线性压电陶瓷纳米定位台

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