Z軸小体積ナノ変位テーブル圧電セラミックナノテーブル

ネゴシエーション可能更新05/06

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概要

Z軸小体積ナノ変位台圧電セラミックナノ台NM-005 NM-010カスタム価格連絡

製品詳細

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製品説明：

NM-005はZ方向直進型圧電並進ステージであり、圧電セラミックス直進機構の設計原理を採用し、体積が小さく、摩擦がなく、応答速度が速いなどの特徴があり、高精度センサを配置し、ナノメートル級分解能、位置決め精度が高い信頼性を持つことを実現でき、圧電並進ステージは精密位置決め分野において重要な役割を果たしている。

底部プラットフォーム固定取付穴はM 3ねじ穴を選ぶことができ、ユーザーが容易に取付することができ、注文時に指摘する必要がある。デフォルトバージョンのプラットフォーム固定穴は直径2.2通穴です。

形状ストローク範囲は5μm（閉ループ）であった。

NM-010はZ方向直進圧電並進ステージであり、圧電セラミックス直進機構の設計原理を採用し、体積が小さく、摩擦がなく、応答速度が速いなどの特徴があり、高精度センサを配置し、ナノメートル級の分解能、位置決め精度が高い信頼性を持つことを実現でき、圧電並進ステージは精密位置決め分野において重要な役割を果たしている。

圧電変位ステーションはSGSセンサフィードバックまたはフィードバックなし（開ループ）を提供することができる。

コンパクトなサイズ、高ダイナミック性、サブナノスケールの位置決め解像度が必要であるが、絶対的な位置決め精度と再現性の応用は必要なく、開環は経済的で効率的な選択を提供する。外部フィードバック源（干渉計、視覚系、光検出器など）によって圧電位置を制御する場合には、オープンループ設計バージョンを使用することもできます。

製品パラメータ：

モデル	NM-005	NM-005S	NM-010	NM-010S	公差（こうさ）
うんどうじく	Z	Z	Z	Z
統合センサ		ビーコン標準技術サービス有限会社		ビーコン標準技術サービス有限会社
公称ストローク範囲(@0 ~+120 V)	5ミクロン	5ミクロン	10ミクロン	10ミクロン	±5%
最大ストローク範囲（@-20 ~+150 V）	7ミクロン	7ミクロン	12ミクロン	12ミクロン	±20%
解像度	0.05ナノメートル	0.1ナノメートル	0.1ナノメートル	0.2ナノメートル	タイプ。
最小移動ステップ数	3.0ナノメートル	3.0ナノメートル	0.4ナノメートル	0.4ナノメートル	タイプ。
リニアエラーcha		0.2%		0.2%	タイプ。
繰り返し位置決め精度（全ストローク）		0.1%		0.2%	タイプ。
角度振子偏差（ピッチ/ヨー/ロール）	5μrad	5μrad	5μrad	5μrad	タイプ。
しじのうりょく	8N	8N	8N	8N	数値または数量の後で一般的に使用される
共振周波数（0 g）	2500Hz	2500ヘルツ	2300Hz	2300ヘルツ	±20%
運動方向剛性	2N/μm	2 N/μm	2N/μm	2 N/μm	±20%
運動方向推力/引力	12N/2N	12N/2N	12N/2N	12N/2N	±20%
くどうきこう	ピエゾセラミックス	ピエゾセラミックス	ピエゾセラミックス	ピエゾセラミックス
動作温度範囲	-20~+80℃	-20~+80 °℃	-20~+80℃	-20~+80 °℃	タイプ。
ケーブル長	1.5メートル	1.5メートル	1.5メートル	1.5メートル	±10mm
中空寸法
外形寸法（長さ×幅×高さ）	30×30×24 mm	30×30×24 mm	30×30×29.2 mm	30×30×29.2 mm
重さ	70グラム	70グラム	80グラム	80グラム	±5%
PZT&Sensorコネクタ	レモ	レモ	レモ	レモ
本体材質	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム