大ストローク、高精度、コンパクトなリニア圧電セラミックナノテーブル

大ストローク、高精度、コンパクトなリニア圧電セラミックナノテーブルNM-160のカスタマイズ価格はお問い合わせください

このシリーズのナノ変位台は高信頼性多層低圧圧電スタックセラミックを駆動素子として採用し、有限要素最適化の集積状態フレキシブルガイドシステムを利用して良好な平行運動を確保することができる。摩擦のない柔軟性機構を採用しているため、圧電変位台はメンテナンスが不要で、摩耗がなく、高速応答と高速安定の性能を持っており、高周波誤差補償、追跡、高速ステップまたは連続スキャンなどの動的プロセスに適している。

閉ループバージョンには高分解能歪みシート式位置センサがあり、高精度で反復可能な運動を実現でき、圧電セラミックスのクリープを補償することもできる。センサは全閉ループブリッジ設計を採用している。開ループまたは閉ループ制御で動作することができます。圧電プラットフォームの固定は、移動面と底板上のねじ穴によって実現される。標準グリッドを持つ光学プラットフォームまたは他のコンポーネントに取り付けるには、アダプタプレートアダプタを使用します。締結中に、過大な曲げモーメント荷重と移動面とハウジングとの間に作用する横方向力を避けるべきであり、これらの外力は変位台を損傷する可能性がある。

注：すべての規格パラメータは室温（22°C±3°C）測定に基づいており、詳細については、お問い合わせください。表中の"-"は適用されないことを示しています。

1.接尾辞「-S」は閉ループであり、位置センサを内蔵している。開ループ接尾辞は"-Sを持たず、線形誤差、反復度データはありません。

2.最大駆動電圧は-20 V ~+150 Vであり、信頼性の高い長期使用には、駆動電圧は0.+120 Vであることを提案し、より大きなストロークはお問い合わせください。工場出荷時は公称ストロークと呼ばれている。

3.分解能すなわち位置決めノイズ。圧電セラミックナノポジショニングシステムは摩擦がないため、システム分解能は増幅器ノイズと測定技術によってのみ制限される。通常はRMS（1σ）値を使用して測定と指定を行います。

4.干渉計によって測定された圧電プラットフォームの移動可能な最小ステップ値を指し、それは主に圧電コントローラのDAC解像度によって決定される。最適な場合、パラメータテーブルには16-Bitに対応するシフトステップ値があります。

5.軸方向荷重、より高い荷重は、公称荷重を超えると可撓性機構に損傷を与えることに注意してお問い合わせください。

6.ケーブルの長さを長くするには、お問い合わせください。

7.テーブル重量はケーブル及びコネクタの重量を含まない。

8.公差におけるMax.は最大値を表し、typ.は標準的な典型的なデータ値を表し、検出レポートには実際の測定データ値が与えられる。