透過型電子顕微鏡の高傾角熱電原位システム

私たちの強み

その他の重要な情報

傾斜角度≧±75°2次元撮像情報は、一連の異なる傾斜角によってより多く得ることができる。

優れた電気性能

1.シミュレーション検査設計のチップ電極を採用し、電界分布が均一で、電位が安定で、チップ表面の保護性コーティングは電気測定の低騒音と正確性を保証し、電流測定精度は皮安級に達することができる。

2.MEMSマイクロ加工特殊設計、加熱中に電気的試験と特性評価を同時に行うことができ、温度安定性に影響を与えない。

優れた熱特性

1.高精密赤外線測温補正、ミクロンレベル高分解能熱場の測定と校正は、温度の正確性を確保する。

2.4電極の超高周波温度制御方式は、導線と接触抵抗の影響を排除し、温度と電気学パラメータを測定することがより正確である。

3.高安定性貴金属加熱ワイヤ（非セラミック材料）を採用し、熱伝導材料であり、感熱材料であり、その抵抗は温度と良好な線形関係があり、加熱区は観測領域全体をカバーし、昇温降温速度が速く、熱場が安定で均一で、安定状態で温度変動≦±0.01℃である。

4.閉回路の高周波動的制御とフィードバック環境温度の制御方式を採用し、高周波フィードバック制御は誤差を解消し、制御温度精度は±0.01℃である。

5.多段複合加熱MEMSチップの設計、加熱過程の熱拡散を制御し、昇温過程の熱ドリフトを極めて抑制し、実験の効率的な観察を確保する。

6.加熱ワイヤの外部は窒化ケイ素で被覆され、サンプルと反応せず、実験の正確性を確保する。

インテリジェント化ソフトウェアと自動化デバイス

1.マンマシン分離、ソフトウェア遠隔制御実験条件、プログラム自動化制御傾斜角度。

2.プログラム昇温曲線をカスタマイズします。10ステップ以上の昇温プログラム、恒温時間などを定義することができ、同時に手動で目標温度と時間を制御することができ、プログラムの昇温過程で温度変化と恒温が必要であることを発見し、直ちに実験案を調整し、実験効率を高めることができる。

3.内蔵絶対温度スケール較正プログラム、各チップの温度制御は抵抗抵抗値の変化に基づいて、曲線フィッティングと校正を再び行い、測定温度の正確性を確保し、高温実験の再現性と信頼性を保証する。

4.全プロセスに精密自動化設備を配備し、人工操作に協力し、実験効率を高める。

技術仕様

応用事例

電圧によるAg 2 Te系熱電材料の変化

0.4 v電圧Ag 2 Te系熱電材料高分解能