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厦門超新芯科技有限公司
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透過型電子顕微鏡高温力電位システム

交渉可能更新02/16
モデル
製造者の性質
プロデューサー
製品カテゴリー
原産地
概要
透過型電子顕微鏡高温力電気原位置システムはMEMSチップを通じてサンプルに力学、電場、熱場制御を加え、原位置サンプル台内に力、電気、熱複合多場自動制御及びフィードバック測定システムを構築し、EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEMなどの多種の異なるモードを結合し、ナノレベルからリアルタイム、動的にサンプルを監視し、真空環境下で温度、電場、力変化に伴うミクロ構造、相変化、元素原子価状態、ミクロ応力及び表/界面での構造と成分発展などの重要な情報を実現する。
製品詳細

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私たちの強み

力学的性能

1.高精度圧電セラミック駆動、ナノスケール精度デジタル化精密位置決め。

2.実現1000℃加熱条件下での圧縮、延伸、曲げなどのミクロ力学的性能試験。

3.nN級力学測定騒音

4.連続的な荷重−変位−時間データリアルタイム自動収集機能を備えている。

5.定荷重、定変位、循環荷重制御機能を備え、材料のクリープ特性、応力緩和、疲労性能研究に適している。


優れた熱特性

1.高精密赤外線測温補正、ミクロン級高分解熱場測定及び校正、温度の正確性を確保する。

2.超高周波温度制御方式、導線と接触抵抗の影響を排除し、温度と電気学パラメータを測定することはより正確である。

3.高安定性貴金属加熱ワイヤ(非セラミック材料)を採用し、熱伝導材料であり、感熱材料であり、その抵抗は温度と良好な線形関係があり、加熱区は観測領域全体をカバーし、昇温降温速度が速く、熱場が安定で均一で、安定状態で温度変動≦±0.1℃である。

4.閉回路の高周波動的制御とフィードバック環境温度の制御方式を採用し、高周波フィードバック制御は誤差を解消し、制御温度精度は±0.01℃である。

5.多段複合加熱MEMSチップの設計、加熱過程の熱拡散を制御し、昇温過程の熱ドリフトを極めて抑制し、実験の効率的な観察を確保する。


優れた電気性能

1.チップ表面の保護性コーティングは電気測定の低騒音と正確性を保証し、電流測定精度は達成できるピオンレベル

2.MEMSマイクロ加工特殊設計、同時に電場、熱場、力学をロードし、相互に独立に制御する。


インテリジェント化ソフトウェア

1.マンマシン分離、ソフトウェアはナノプローブ運動を遠隔制御し、負荷−変位データを自動的に測定する。

2.プログラム昇温曲線をカスタマイズします。10ステップ以上の昇温プログラム、恒温時間などを定義することができ、同時に手動で目標温度と時間を制御することができ、プログラムの昇温過程で温度変化と恒温が必要であることを発見し、直ちに実験案を調整し、実験効率を高めることができる。

3.内蔵絶対温度計の校正プログラム、各チップの温度制御は毎回抵抗値によって変化し、曲線フィッティングと校正を再び行い、測定温度の正確性を確保し、高温実験の再現性と信頼性を保証する。



技術仕様

カテゴリー プロジェクト パラメータ
基本パラメータ ロッドマテリアル 高強度チタン合金
せいぎょモード 高精度圧電セラミックス
けいしゃかく α≧±20°、傾斜分解能<0.1°(実際の範囲は透過型電子顕微鏡と極靴の型番に依存する)
適用可能な電子顕微鏡 サーモフィッシャー/FEI、JEOL、日立
ユーティリティシュー ST、XT、T、BioT、HRP、HTP、CRP
(HR)TEM/STEM サポート
(HR)EDS/EELS/SAED サポート











応用事例




600°C高温下での銅ナノカラム力学圧縮実験

形状寸法が微小であるか、操作寸法が極小であることを特徴とするマイクロ電気機械システム(MEMS)はますます重視されており、100μmスケール以下のサンプルに対しては、従来の引張と圧縮試験に一連の困難をもたらす。ナノ圧縮実験は、材料表面の局所体積内にわずかな圧力しか発生しないため、マイクロ/ナノスケールの力学特性測定の主要な動作方法になりつつある。そのため、マイクロナノスケールでの材料変形挙動の実験研究を展開することが必要である。単結晶面心立方材料のマイクロナノスケールでの変形挙動を研究するために、ナノ圧縮実験を主な手段として、銅ナノカラムの初期塑性変形挙動と結晶欠陥が単結晶銅の初期塑性変形に与える影響を分析した。その結果、銅柱はナノ圧縮過程でより大きな弾性変形を示した。同時に、圧縮周囲の材料に突起が発生した原因と発生した影響を分析し、銅ナノカラムの圧縮時に周囲の材料の突起がナノ硬度と測定した弾性率値を大きくすると考えた。表面形態の不均一性が銅ナノカラムの初期塑性変形挙動に与える影響を研究するために、加熱方法により、銅ナノカラム表面に作製してナノスケールの表面欠陥を得て、そして表面欠陥のナノ圧縮実験データに対して比較分析を行って、結果は表面欠陥の存在が銅ナノカラムの初期塑性変形に大きく影響することを表明した。透過型電子顕微鏡により、銅ナノピラーの圧縮点周囲の転位形態を観察したところ、ナノ圧縮周囲で生成された転位のほか、層転位、不完全転位及び転位環の共存が見られた。銅ナノピラーの初期塑性変形は転位の発生と密接に関連していることを示した。