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アドレス
上海市奉賢区南橋鎮国順路93号6棟
概要
スイスVAT真空バルブ59024-GE 01-0003$r$nモデル解析（VAT命名規則）$r$nコードセグメント意味$r$n 59024シリーズ：高真空角バルブ$r$nGE 01フランジタイプ：ISO-KF 40$r$n 0003構成コード：ベルトエアアクチュエータ
製品詳細
スイスVAT真空バルブ59024-GE 01-0003
1.型式解析（VAT命名規則）
| コードセグメント | 意味 |
|---|---|
| 59024 | シリーズ：高真空角弁 |
| GE01 | フランジタイプ：ISO-KF 40 |
| 0003 | 構成コード：バンドエアアクチュエータ |
2.コアパラメータ
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| しんくうはんい | 10⁻⁶ ~ 1000 mbar |
| ろうえいりつ | ≦1×10⁹mbar・L/s（ヘリウム検査） |
| フランジ基準 | ISO-KF40（DN40） |
| バルブボディマテリアル | ステンレス316 L（EP研磨） |
| シール材 | フッ素ゴム（FKM）/オプションの全金属シール |
| くどうモード | |
| レスポンス時間 | ≦0.5秒（オン/オフ） |
| おんどはんい | -20℃~ 150℃（標準タイプ） |
3.構造特徴
超高真空設計：
メタルベローズシール
バルブプレートにテーパシールを採用（10タップmbar段シール）
くうきアクチュエータ：
ふくどうシリンダ
メカニカルポジションインジケータ付き
4.典型的な応用
半導体デバイス：
ウェハ伝送キャビティ分離
CVD/PVDプロセスチャンバ
科学研究装置：
粒子加速器真空システム
5.設置要求
フランジ取り付け：
トルク制限：10 Nm（ISO-KF 40カチューシャ）
無酸素銅シールリングを使用する必要がある（P/N：VAT-CU 40）
ガス路接続：
駆動ポート：G 1/8′（アルゴンパージを推奨）
6.電気コネクタ（電磁弁を必要とする）
| 信号 | 要求 |
|---|---|
| 開弁信号 | 24 V DC（駆動電磁弁） |
| スプリングリターン |
7.メンテナンスのポイント
| プロジェクト | 周期 | 操作 |
|---|---|---|
| シールリング交換 | 2年または10サイクル | 専用治具の取り外しが必要 |
| ベローズ検査 | 1年間 | ヘリウム質量分析計 |
| くどうシリンダ潤滑 | 6ヶ月 | PFE真空グリースを使用する |
8.代替モデルの比較
| ブランド/モデル | 差異点 |
|---|---|
| VAT 59024-GE01-0004 | 電動アクチュエータ版 |
| 普通発付加価値税58500 | 直通阀，流量更大 |
| 北カリフォルニア州UHV-40 | 価格は20%低く、漏洩率はやや高い |
このモデルの標準納期は8～12週間です。必要に応じてまたは無磁性バージョン、カスタムサイクルを6週間追加する必要があります。VATの併用を推奨52 Xシリーズ電磁弁群は自動制御を実現する。
スイスVAT真空バルブ59024-GE 01-0003
