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アドレス
上海市奉賢区南橋鎮国順路93号6棟
概要
スイスVAT真空ゲートバルブプレート96603-01$r$n基礎情報$r$n元工場部品番号：96603-01$r$n$r$n適用バルブモデル：VAT 96600シリーズ高真空ゲートバルブ$r$n$r$n材質：ステンレス鋼316 L（電解研磨EPステージ）$r$n$r$n表面処理：Ra≦0.1μm（鏡面研磨）
製品詳細
スイスVAT真空ゲートプレート96603-01
1.基礎情報
元工場部品番号：96603-01
適用バルブ型式：VAT 96600シリーズ高真空シャッタバルブ
材質：ステンレス鋼316 L（電解研磨EP級）
表面処理：Ra≦0.1μm（鏡面研磨）
2.コアパラメータ
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| サイズ | 適合DN 160（6.3'）バルブ |
| 厚さ公差 | ±0.005mm |
| 平面度 | ≤0.01mm/m |
| 真空シールレベル | ≦1×10タンデムmbar・L/s（金属シールリング配合） |
| たいおんはんい | -270℃~+450℃（全金属シール配置） |
3.構造特徴
両面シール設計：
主密封カバー：円錐形金属密封（銅またはステンレス）
二次シール：オプションのエラストマーシール（VITONなど）®）
ガイドシステム：
精密直線ガイド（摩擦係数<0.001）
：
標準適合VATエアアクチュエータ（96100シリーズなど）
4.互換バルブモデル
| VATバルブシリーズ | 具体的なモデル例 |
|---|---|
| 96600 | 96603, 96606, 96610 |
| 96800 | 96803（サイズ確認要） |
5.設置とメンテナンス
インストール手順：
クリーンバルブキャビティ（クリーン布+高純度アルコール使用）
プリシールリング（専用取付治具が必要）
バルブプレート挿入後の摺動抵抗を手動で試験する（応≦5 N）
トルク要求：
6.耐用年数指標
| モード | 予想寿命 |
|---|---|
| 常温高真空（<10µmbar） | ＞10サイクル |
| 高温（300℃） | 約5×10サイクル |
| プラズマ環境 | 摩耗を5×10エルビウム毎に点検する必要がある |
7.摩耗検出方法
こうがくてきけんしゅつ：
白色光干渉計を用いたシール面スクラッチの測定（深さ≦0.5μmは安全）
：
ヘリウム質量分析漏れ検出（バルブプレート閉鎖状態で≦1×10タンタルmbar・L/s）
8.代替案の比較
| ブランド/モデル | 差異点 |
|---|---|
| 付加価値税96603-01-M | めっきシール面（耐食性＋導電性） |
| フィーバーPGV 160 | 互換性はあるが、アクチュエータインタフェースを修正する必要がある |
| 国産模造品 | コストが60%低く、寿命が約40%の工場 |
このバルブプレートは嵌合する必要があるを使用します。に対して半導体デバイスを使用して、2年または10回のサイクルごとに強制的に交換することを推奨します。アルミメッキ窒化シリコンコーティングなどのカスタムバージョンの納期は8週間追加する必要があります。
スイスVAT真空ゲートプレート96603-01
