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アドレス
上海市奉賢区南橋鎮国順路93号6棟
概要
スイスVAT真空バルブ47シリーズ$r$nVAT 47シリーズ製品ポジショニング$r$n製品タイプ：空気圧駆動高真空角バルブ（Angle Valve）$r$n$r$nコア用途：$r$n$r$n真空キャビティの隔離と通気制御$r$n$r$n半導体、光起電力、真空めっき、科学研究装置などの超高真空（UHV）シーンに適している
製品詳細
スイスVAT真空バルブ47シリーズ
以下についてスイスVAT社47シリーズ高真空角弁
一、VAT 47シリーズ製品の位置づけ
製品タイプ：空気圧駆動高真空角弁（Angle Valve）
コア用途：
真空チャンバの隔離と通気制御
半導体、光起電力、真空めっき膜、科学研究設備などの超高真空（UHV）シーンに適用する
コア資格認定：
材料互換性：316 Lステンレス鋼、フッ素ゴム（FKM）または全金属シール
二、型式命名規則（VAT 47152-AAを例とする）
| コードセグメント | 意味 |
|---|---|
| 47 | シリーズ名称（空気圧高真空角弁） |
| 1 | 弁体寸法（1=DN 16、5=DN 160） |
| 52 | フランジタイプ（52=CFフランジ） |
| AA | シール材質（AA＝フッ素ゴム、MM＝金属） |
三、中国市場でよく使われるサブモデルの比較
| モデル | パス | フランジタイプ | シールマテリアル | おんどはんい | 一般的なアプリケーションシーン |
|---|---|---|---|---|---|
| 付加価値税47112-AA | DN16 | CF-F | フッ素ゴム | -20~+150°C | ミニ真空チャンバ |
| 付加価値税47152-AA | DN40 | CF-F | フッ素ゴム | -20~+150°C | めっき装置吸気弁 |
| バケツ47552-MM | DN160 | ISO-K | メタルシール | -200~+250°C | はんどうたいエッチングき |
| 付加価値税47652-a | DN63 | CF-F | フッ素ゴム | -20~+150°C | 光起電力モジュール真空システム |
四、コア技術パラメータ
真空性能：
漏れ率：フッ素ゴム版<1×10タンタルmbar・L/s、金属シール版<1×10タンタルmbar・L/s
耐圧差：標準版1×10㎥mbarから大気圧（金属シール版は10㎥²mbarに達することができる）
きかいとくせい：
駆動方式：単/二作用空気圧（0.4 ~ 0.6 MPa圧縮空気が必要）
開閉時間：<1秒（DN 40以下仕様）
サイクル寿命：>100万回（金属封止版>50万回）
かんきょうてきおうせい：
フッ素ゴム版耐溶剤性：アセトン、アルコール（強酸非互換）
金属密封版ベーキング温度：最高250°C（高温電磁弁を選択する必要がある）
五、タイプ選択の重要なステップ
パスの決定
せんたくシール：
フッ素ゴム（AA）：コストが低く、一般的な真空（≦10µmbar）に適している
金属密封（MM）：超高真空（≦10⁻¹mbar）、高温に耐える
マッチングフランジ：
CFフランジ：超高真空規格（半導体業界）
ISO-Kフランジ：大流量応用（例えばめっき装置）
ドライバ構成：
単作用（スプリングリセット）：電源オフ自動オフ
二重作用：双方向ガス制御が必要で、応答が速い
六、設置とメンテナンスのポイント
インストール仕様：
弁体の矢印方向は気流方向と一致する必要がある
フランジボルトは対角で段階的に締め付ける必要がある（トルクはVAT技術マニュアル参照）
保守上の推奨事項：
金属密封弁は5年ごとにヘリウム質量分析漏れ検査を行う
七、典型的な故障処理
| こしょうげんしょう | 可能な理由 | ソリューション |
|---|---|---|
| バルブが閉まらない | ガス源圧力不足/シールリング摩耗 | エア路（≧0.4 MPa）を点検し、シールを交換する |
| 真空度が基準を満たしていない | フランジシールカバー汚染 | 無塵布にアルコールをつけて密封面を清潔にする |
| 開閉速度が遅くなる | 電磁弁故障/シリンダエア漏れ | 駆動電磁弁の交換（推奨FestoまたはSMC） |
八、中国市場の代替案
国産代替：
ZKシリーズアングルバルブ（DN 16 ~ DN 200、漏れ率<5×10タンタルmbar・L/s）
日系ブランド：
SMCVXHシリーズ
搬送サイクル：通常型番の在庫は2-4週間、弁体をカスタマイズするには8-12週間必要
スイスVAT真空バルブ47シリーズ
