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アドレス
上海市奉賢区南橋鎮国順路93号6棟
概要
スイスVAT真空バルブ01034-KE 01-0002$r$nモデル解析（VAT命名規則）$r$nコードセグメント意味$r$n 01034シリーズ：小口径高真空角バルブ$r$nKE 01フランジタイプ：ISO-KF 16（DN 16）$r$n 0002構成コード：バンドエアアクチュエータ+位置センサ
製品詳細
スイスVAT真空バルブ01034-KE 01-0002
1.型式解析（VAT命名規則）
| コードセグメント | 意味 |
|---|---|
| 01034 | シリーズ：小口径高真空角弁 |
| KE01 | フランジタイプ：ISO-KF 16（DN 16） |
| 0002 | 構成コード：空気駆動アクチュエータ+位置センサ付き |
2.コアパラメータ
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| しんくうはんい | 10⁻⁹ ~ 1000 mbar |
| ろうえいりつ | ≦1×10ラミネートmbar・L/s（金属シール） |
| バルブボディマテリアル | ステンレス316 L（EP研磨） |
| シールオプション | 全金属シール/FFKMエラストマー |
| くどうモード | 空力二重作用（4〜6 bar） |
| レスポンス時間 | ≦0.3秒（オン/オフ） |
| おんどはんい | -200℃~ 250℃（標準タイプ） |
3.構造特徴
ゼロリーク設計：
金属ベローズ伝動（動的シール漏れリスクなし）
テーパバルブシートシール（10タンパmbar段シール）
：
統合磁気結合位置センサ（PNP出力）
LEDステータスLED（赤/緑2色）
4.典型的な応用
分析機器：
質量分析計注入システム分離
電子顕微鏡試料室
半導体：
ウェハ伝送モジュール（EFEM）
エッチング設備ガス通路制御
5.設置規範
フランジ接続：
トルク制限：5 Nm（ISO-KF 16カチューシャ）
シールリング：無酸素銅ガスケット（P/N：VAT-CU 16）
：
駆動ガス：窒素またはアルゴン（純度≧99.999%）
管路濾過：0.1μmフィルタ
6.電気コネクタ
| 端子 | 機能 |
|---|---|
| 1（ブラウン） | 24 V直流+ |
| 2（青） | 0V |
| 3（黒） | バルブ開信号（PNP） |
| バルブオフ信号（PNP） |
7.メンテナンスサイクル
| プロジェクト | 操作 | 周期 |
|---|---|---|
| シール面検査 | 白色光干渉計の検出 | 1年/10タリウムサイクル |
| ベローズ寿命 | ヘリウム漏れ検出試験 | 5年または10サイクル |
| 位置センサキャリブレーション | バルブ位置フィードバック調整 | 2年間 |
| コード | 意味 | 処理方案 |
|---|---|---|
| E01 | センサ信号損失 | 磁気結合位置合わせの確認 |
| E03 | 気圧不足 | 駆動圧力≧4 barを確認する |
| E05 | ちょうおんけいほう | 周囲温度が基準を超えているかどうかを検査する |
9.代替案。（9）：代替案。（14：00）：（11：00）：（12：00）：（12：00）（12：00）（12：00）（12：00）（10：00
| ブランド/モデル | 差異点 |
|---|---|
| 付加価値税01034-KE 01-0001 | 位置センサなし |
| フィーバーEVR 116 | 応答が遅い電動アクチュエータ |
| 北カリフォルニア州UHV-16 | 価格は25%低く、漏洩率はやや高い |
このモデルの標準納期は12週間です。必要に応じて超高真空版（10⁻¹mbar）または無磁性バージョン、カスタムサイクルを6週間追加する必要があります。VATの併用を推奨電磁弁群は自動制御を実現する。
スイスVAT真空バルブ01034-KE 01-0002
