スイスVAT 590シリーズ電動高真空エアコンスロットルバルブ

スイスVAT 590シリーズ電動高真空エアコンスロットルバルブ

• 製品タイプ：電動駆動高真空調スロットルバルブ（Proportional Control Valve）

• コア機能：

• せいみつあつりょくちょうせつ（10⁻³~ 10⁻mbar範囲）

• 動的流量制御（CVD、PVD、エッチングなどのプロセスに適用）

• 中核的優位性：

• 解像度が0.1%フルレンジ、応答時間<50 ms

• 全金属シール（漏れ率<1×10⁻¹mbar・L/s）

• サポートアナログ量（0-10 V/4-20 mA）との間にあるものです。（1）および（2）。（2）。（2）および（2）。（2）。（2）および（2）。（2）。（2）および（2）。（2）および（2デジタル通信（RS 485/Profibus）制御

二、型式命名規則（VAT 590.12-AAを例とする）

三、中国市場でよく使われるサブモデルの比較

四、コア技術パラメータ

1. せいぎょせいのう：

• せんけいど：±0.5%フルレンジ

• くりかえしせいど：±0.2%

• 流量係数（Cv）：0.02（DN25）~0.15（DN63）

2. 電気特性：

• 電源電圧：24 V DC±10%

• 位置フィードバック：オプションの0-10 VまたはSSI絶対値エンコーダ

3. 環境適応性：

• フッ素ゴムシール：-20°C ~+150°C

• 金属シール：-200°C～+250°C（ベーキングモード）

• 温度範囲：

• 耐食性：Clタンパ、NFタンパなどのプロセスガスと互換性がある（ニッケルめっき弁体を選択する必要がある）

五、タイプ選択の重要なステップ

1. パスの決定：

• 流量需要に応じてDN 25/DN 40/DN 63を選択

• 計算式：$𝑄={𝐶}_{𝑣}\cdot \sqrt{\mathrm{\Delta }𝑃\cdot 𝜌}$
  （Q：流量、ΔP：差圧、ρ：気体密度）

2. 制御モードの選択：

• アナログ量制御：PLC直接制御に適用

• ディジタル通信：インテリジェント真空管理システムへの統合に適している

3. シールマテリアル：

• ：低コストで一般的な真空に適している（≦10µmbar）

• 金属シール（MM）：超高真空（≦10⁻¹mbar）、耐プラズマ

4. 特殊なオプション：

• 加熱バージョン：ガスの凝縮を防止する（SiH 8324プロセスなど）

• ATEX防爆認証：危険な環境での使用

六、設置と調整のポイント

• ：

• 弁体の方向は気流と一致する必要がある（矢印標識）

• 振動源の回避（ダンパーブラケットの取り付けを推奨）

• 電気的接続：

• シールドケーブル配線（電磁干渉防止）

• 接地抵抗<1Ω

• パラメータキャリブレーション：

1. HMIまたはソフトウェアによるゼロビット（0%開度）の設定

2. 標準フルレンジ（100%開度対応10 V/20 mA）

3. ステップ応答をテストする（目標：オーバーシュート量<5%）

スイスVAT 590シリーズ電動高真空エアコンスロットルバルブ