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アドレス
上海市奉賢区南橋鎮国順路93号6棟
概要
スイスVAT 54シリーズ空気圧高真空バッフルバルブ$r$n製品タイプ：空気圧駆動高真空バッフルバルブ（Pneumatic Gate Valve）$r$n$r$nコア機能：$r$n$r$n急速隔離真空チャンバ（オン/オフ時間lt ; 1秒）$r$n$r$n半導体、光起電力、科学研究設備に適した超高真空（UHV）システム
製品詳細
スイスVAT 54シリーズ空気圧高真空バッフルバルブ
一、54シリーズ製品の位置づけ
製品タイプ：空気圧駆動高真空バッフルバルブ（Pneumatic Gate Valve）
コア機能：
高速隔離真空チャンバ（オン／オフ時間<1秒）
半導体、光起電力、科学研究設備に適用される超高真空（UHV）システム
中核的優位性：
漏れ率が低い<1×10⁻⁹ ミリバール・リットル／秒（金属シール版は10µµmbar・L/sに達することができる）
ゼロリーク設計、互換性ふしょくせいガス（例えばCVDプロセスにおけるClタンパ、SFタンパ）
二、型式命名規則（VAT 54152-AAを例とする）
| コードセグメント | 意味 |
|---|---|
| 54 | |
| 1 | バルブボディサイズ（1=DN 40、5=DN 200） |
| 52 | フランジタイプ（52=ISO-K、62=CF） |
| AA | シール材質（AA＝フッ素ゴム、MM＝金属） |
三、中国市場でよく使われるサブモデルの比較
| モデル | パス | フランジタイプ | シールマテリアル | おんどはんい | 一般的なアプリケーションシーン |
|---|---|---|---|---|---|
| 付加価値税54112-AA | DN40 | ISO-K | フッ素ゴム | -20~+150°C | 小型真空伝送チャンバ |
| 付加価値税54152-MM | DN63 | ISO-K | メタルシール | -200~+250°C | はんどうたいエッチングき |
| 付加価値税54562-AA | DN200 | CF | フッ素ゴム | -20~+150°C | 光起電力めっき装置 |
| DN160 | ISO-K | メタルシール | -200~+250°C | イオン注入機 |
四、コア技術パラメータ
真空性能：
漏れ率：フッ素ゴム版<1×10タンタルmbar・L/s、金属シール版<1×10タンタルmbar・L/s
耐圧差：標準版10㎥mbarから大気圧まで（双方向耐圧オプション）
きかいとくせい：
駆動方式：二作用空気圧（0.5 ~ 0.7 MPa圧縮空気が必要）
開閉時間：DN 63以下≦0.5秒、DN 200≦1.5秒
サイクル寿命：>500000回（金属シール版）
材料互換性：
フッ素ゴム（AA）：低コストでプラズマに弱い
弁体材質：316 Lステンレス鋼（オプション電解研磨EP級）
シールオプション：
五、タイプ選択の重要なステップ
パスの決定：配管流量に応じてDN 40/DN 63/DN 160/DN 200を選択
せんたくシール：
従来技術：フッ素ゴム（AA）
エッチング/イオン注入：金属シール（MM）
マッチングフランジ：
CFフランジ：半導体キャビティなどの超高真空
特別な要件：
腐食性ガス：オプションニッケルめっき弁体またはハーシュメタルシール
高温環境：金属密封+高温電磁弁（Festo MS 6シリーズなど）
六、設置とメンテナンスのポイント
インストール仕様：
バルブボディは水平または垂直に取り付ける必要があります（傾斜を避ける）
保守上の推奨事項：
6ヶ月ごとにシール面の摩耗を検査する（金属シール版は定期的に研磨可能）
フッ素ゴムシールリングは大気曝露後12時間静置してから真空引きする必要がある
七、典型的な故障処理
| こしょうげんしょう | 可能な理由 | ソリューション |
|---|---|---|
| バルブが閉まらない | シール面汚染/シリンダ圧力不足 | シール面を清掃し、ガス路≧0.5 MPaを検査する |
| バルブプレートが開いていません | シリンダストロークの調整または電磁弁の交換 | |
| 漏れ率が基準を超えている | シールリングのエージング/フランジ損傷 | シールを交換し、ヘリウム質量分析漏れを検出する |
八、中国市場の代替案
国産代替：
瀋陽科儀GDCシリーズフラップバルブ
日系ブランド：
SMCVZHシリーズ（中低真空、性価比が高い）
搬送サイクル：
標準モデル：4～6週間
カスタムバージョン（ニッケルメッキバルブボディなど）：8～12週間
スイスVAT 54シリーズ空気圧高真空バッフルバルブ
