走査電子顕微鏡液体熱電原位システム

私たちの強み

高解像度

MEMSマイクロプロセス、電気化学チップのウィンドウ領域の窒化シリコン膜厚最大10 nmの薄さ、電子ビームへの干渉を大幅に減少させ、液相環境はナノスケール分解能に達することができる。

高安全性

1.市販されている他のブランドの液体サンプルバーは、自身の液体プールのチップ設計案の制約を受けているため、液体ポンプによる巨大な圧力によって大流量の液体がサンプル台とチップ周辺領域を流れることを推進するしかなく、液体が大量に漏れる安全上の危険性がある。その液体は主に拡散効果によってチップの中間のナノ細孔道に入り、チップ観察窓には実際の流量流速制御はない。

2.ナノ流体制御技術を採用し、圧電マイクロ制御システムを通じて流体微分制御を行い、ナノアップグレード微量流体輸送を実現し、insitu narrow control system及びサンプルロッド中の冗長な液体量はマイクロリットルレベルしかなく、電子顕微鏡の安全を有効に保証する。

3.高分子膜面接触シール技術を採用し、oリングシールに比べ、シール接触面積を増大させ、漏れリスクを効果的に減少させる。

4.超高温めっき技術を採用し、チップウィンドウ領域の窒化シリコン膜は高温低応力耐圧耐食性耐照射性などの利点がある。

優れた熱特性

1.高精密赤外線測温補正、ミクロン級高分解熱場測定及び校正、温度の正確性を確保する。

3.超高周波温度制御方式、導線と接触抵抗の影響を排除し、温度と電気学パラメータを測定することはより正確である。

3.高安定性貴金属加熱ワイヤ（非セラミック材料）を採用し、熱伝導材料であり、感熱材料であり、その抵抗は温度と良好な線形関係があり、加熱区は観測領域全体をカバーし、昇温降温速度が速く、熱場が安定で均一で、安定状態で温度変動≦±0.1℃である。

4.閉回路の高周波動的制御とフィードバック環境温度の制御方式を採用し、高周波フィードバック制御は誤差を解消し、制御温度精度は±0.01℃である。

5.多段複合加熱MEMSチップの設計、加熱過程の熱拡散を制御し、昇温過程の熱ドリフトを極めて抑制し、実験の効率的な観察を確保する。

インテリジェント化ソフトウェアと自動化デバイス

1.人間と機械の分離、ソフトウェアの遠隔制御実験条件、全過程で実験詳細データを自動的に記録し、総括と回顧に便利である。

2.プログラム昇温曲線をカスタマイズします。10ステップ以上の昇温プログラム、恒温時間などを定義することができ、同時に手動で目標温度と時間を制御することができ、プログラムの昇温過程で温度変化と恒温が必要であることを発見し、直ちに実験案を調整し、実験効率を高めることができる。

3.内蔵絶対温度計の校正プログラム、各チップの温度制御は毎回抵抗値によって変化し、曲線フィッティングと校正を再び行い、測定温度の正確性を確保し、加熱実験の再現性と信頼性を保証する。

4.全プロセスに精密自動化設備を配備し、人工操作に協力し、実験効率を高める。

チームのメリット

1.チームリーダーはその場液相の発展初期に研究開発に参加し、この方法を改善した。

2.独自にその場チップを設計し、チップコアプロセスを把握し、複数のチップパットを持つ。

3.チーム20人余りがその場液相研究に従事し、複数の研究方向のその場実験技術サポートを提供することができる。

技術仕様

応用事例

電化学溶解

電化学沉積