SRPVシリーズ膜厚センサ

一、製品の概要

SRPV 100光学膜厚センサは光起電力TopCon製品Poly膜厚のオンラインモニタリングに応用されるセンサであり、コンパクトに集積化された設計であり、操作が簡便であり、干渉によって形成される反射スペクトルを分析し、Poly膜厚、光学定数などの情報を正確に特性化する。

二、製品の特徴

■マイクロパイルと研磨面をカバーできる応用シーン、

■サンプルの傾斜及び作動距離の変化に敏感ではない、

■測定精度が高い、

■高速測定、

■豊富な工業測定経験。

三、測定原理

薄膜上下面反射光は相互間の位相差が増強または弱まるため、位相差は光の波長と光路（薄膜光の往復距離×屈折率に等しい）に依存し、透明薄膜、光路差は波長整数倍、反射相長に等しい。

技術仕様