SRシリーズ膜厚センサ

一、製品の概要

SRシリーズ膜厚センサ迅速で安定した膜厚オンライン測定ソリューションを提供する。

二、製品の特徴

■操作が簡単で、コンパクトで設置しやすい、

■高速・高解像度；

■複数のカスタムヘッドが複数のシーンのニーズを満たす、

■広いスペクトルは多膜厚の需要をカバーする用;

■オンライン膜厚測定と品質評価の適用；

■広いスペクトルによる多用途シーンのニーズの実現。

三、測定原理

技術仕様

*1：ガラスの屈折率1.5で計算

*2：シリコンの屈折率3.67で計算

*3：500 nmSiO 2の厚さを測定する1σ

*4：厚さ30µm以上のSi膜の1σを測定

武漢頤光科技有限公司（Wuhan eoptics Technology Co.，Ltd.）は国内で偏光解析装置及び光学ナノ測定装置の研究開発、製造と販売を専門とするハイテク企業であり、会社は20年以上の偏光光学測定経験を持つ複数の専門家が共同で設立し、華中科技大学と緊密に協力し、国内の偏光解析光学機器分野で非常に優位な技術チームである。

会社は武漢東湖国家自主革新モデル区に登録され、光谷に立脚し、世界に向けて、科学研究と工業ユーザーに機器、ソフトウェア、サービスなどの総合ソリューションを提供している。

製品は集積回路、半導体、太陽光発電、平板表示、LED照明、記憶、生物、医薬、化学、電気化学、光学めっき、フォトリソグラフィ材料などの多くの分野に広く応用されている。