SR-MApping反射膜厚計

一、概要

SR マッピング反射膜厚計シリーズ反射干渉の原理を利用して無傷測定を行い、薄膜表面の反射光と薄膜と下地界面の反射光が干渉して形成された反射スペクトルを分析するとともに、R-Theta変位台を組み合わせ、6 ~ 12寸のサンプルと互換性があり、サンプル全体を迅速に走査し、薄膜厚、光学定数などの情報を迅速に正確に測定し、膜厚均一性を評価することができる。

■光学フィルム測定ソリューション；

■非接触、非破壊測定、

■コアアルゴリズムはフィルムから厚膜、単層から多層フィルムの分析を支持する、

■膜厚繰り返し測定精度：0.02 nm

■全自動測定、測定点数と位置はRecipeで必要に応じて編集可能

■高強度ハロゲンランプ光源を用い、スペクトルは紫外可視光から近赤外範囲をカバーする、

■光機電高度統合一体化設計を採用し、体積が小さく、操作が簡便である、

■薄膜層の上界面と下界面の反射光相干渉原理に基づいて、単層薄膜を多層に容易に解析する、

■強力なコア分析アルゴリズムを配置する：FFT分析厚膜、曲線適合分析法による薄膜の物理パラメータ情報の分析、

三、製品の応用

各種誘電体保護膜、有機薄膜、無機薄膜、金属膜、コーティングなどの薄膜測定に広く応用されている。

技術仕様