SPIN 450 x高品質下地スピンコータ

製品説明

POLOS 450 Advancedシングル基板回転処理機、デスクトップバージョン、NPPケース、回転カップ、手動化学品分配装置及び重機を搭載している。空気力学的に効率的なキャビティは均一性を高めることができ、一方、天然ポリプロピレンまたはステンレス鋼プロセスキャビティはプロセス領域が汚染されず、容易に清浄であることを確保することができる。すべてのデバイスはプログラム可能な時計回りと反時計回りの回転機能と貯液機能を備えている。

乾燥、洗浄/洗浄及び自動コーティング技術に適している。

仕様パラメータ：

• 処理可能な最大基板サイズ：円形基板直径500 mm、正方形基板350×350 mm

• 材質：天然ポリプロピレン（高レベルNPP、設備本体及び全ての接触液体の表面）

• 配置：手動化学品分配装置、2本の自動静的分配管路

• 蓋体：空気圧開閉

• 吸盤部品：1個の真空吸盤を含み、最大3種類のウエハサイズを適応できる

• 最大回転数：1500回転/分

• 化学品分配方式：自動逐次分配または並列分配が可能

• 透明カバー：中心周りに6組のインジェクタアセンブリを配置（各組は独立してプログラム可能）

• 回転機能：時計回り及び反時計回り液溜まり回転

• ディスプレイ：（取り外し可能）カスタムアイコン付きのカラータッチスクリーン

• 排水インタフェース：標準1インチインタフェース

• モータコントローラ：精密デジタルコントローラ（最大1500回転/分）

• ポンプユニットモジュール：独立モジュール、6個の蠕動ポンプを内蔵