サイズ規格

• 敷地面積と高さ：35 mm×35 mm、11.5 mm

• 重量：65 g

• 高さ：11.5 mm

• 通光孔径：13 mm

材質

• ポジショナ本体：チタン合金とベリリウム銅合金、またはフェムト（mK）級モード用のベリリウム銅合金

• アクチュエータ：圧電セラミックス（PZT ceramics）

• 接続線：絶縁ツイストペア線、そのうち圧電セラミックス接続線は銅材質、抵抗式位置センサ接続線はリン青銅材質

粗位置決めモード

• ストローク範囲（ステップモード）：360°無限回転

• 300ケルビン（K）における最大駆動速度：約32°／秒

• 入力電圧範囲：0-60ボルト（V）

精密位置決めモード

• 300ケルビン（K）における微細角変位範囲：40ミリ度（m°）

• 4ケルビン（K）における微細角変位範囲：6ミリ度（m°）

• ファインポジショニング解像度：マイクロ度（µ°）

• 300ケルビン（K）における入力直流電圧範囲：0〜100ボルト（V）

• 4ケルビン（K）における入力直流電圧範囲：0〜150ボルト（V）

いちエンコーダ

• 読取機構：金属セラミック抵抗式センサ

• 符号化ストローク範囲：315°

• センサ解像度：約5ミリ度（m°）

• センサ消費電力（測定時）：10-100マイクロワット（µW）

• 再現性：45ミリ度（m°）（一方向）

負荷（周囲温度条件下）

• 最大荷重：200 g（g）

• 軸回り最大動トルク：2牛・cm（N・cm）

一般仕様

• 作業環境：室温環境、低温環境または低温超高真空（UHV）環境（100°Cまで焼成可能）