SPIN 150 x高品質下地スピンコータ

デザイン

筐体と排水設計は、デスクトップタイプと内蔵タイプの切り替えに便利です。モジュラー設計により、ユーザーはさまざまなアクセサリを介してデバイスをアップグレードすることができ、割り当て操作と全体的な処理プロセスを簡単にすることができます。

えきたいろかトラップ

SPINxシリーズには、スピンコーターの重要な部品を保護するための液体ろ過トラップが搭載されています。処理チャンバまたは真空チャックを介して真空管路に入ったすべての液体またはエッチング防止剤を液体容器に集めることができる。スピンコーターハウジングの開口部から容器を見ることができ、メンテナンスが容易です。

じどうふた

カバーは、ユーザインタフェースまたは踏み板（グローブボックス環境での使用に最適）によって自動的に開閉できます。また、プロセスレシピの最後のステップで自動的にカバーを開くこともできます。

モータゼロ復帰位置

新しいSPINxシリーズは、ロボット制御/自動化環境への統合を容易にするために、モータのゼロ復帰位置を設定することができます。

標準部品：

• 4～6インチウェハに適した真空チャック

• 10 mm以上の断片化に対応した断片化アダプタ

適用可能なプロセス：

• コーーティング

• 清掃

• すすぎ/乾燥

• 現像

• エッチング

• PDMI及びその他のプロセス

ハードウェア仕様：

• えきたいろかトラップ

• 自動カバー（ハイレベル版では足踏みによる制御も可能）

• プログラマブルモータのゼロ復帰位置

• シリンジまたは分配ノズル用の中心射出スタンド

• ユーザーの安全のためのカバーロックと真空センサ

• 大型（取り外し可能）タッチスクリーン

• USBドライブにフォーミュラを格納し、ソフトウェア更新を行うためのUSBポート

• 駆動ユニットの仕様：間接式ブラシレス駆動ユニット、最高12000回転/分、高加速度と精度、1-30000回転/分、時計回り/反時計回りとpuddleモード、デスクトップとビルトインの切り替えが可能な設計