SPIN 300 x高品質基材スピンコータは、正確で再現可能なプロセス制御を実現することができる。その材質は天然ポリプロピレン(NPP)または耐薬品性を有するポリテトラフルオロエチレン(PTFE)である。十分に検証されたこのモデルは、標準版と高級版に分かれて新バージョンが発売されました。直径が最大200 mmの円形基材や150150 mmの正方形サンプル。


の筐体と排水設計は、デスクトップタイプと内蔵タイプの切り替えに便利です。モジュラー設計により、ユーザーはさまざまな部品を介してデバイスをアップグレードすることができ、割り当て操作と全体的な処理プロセスを簡略化することができます。
SPINxシリーズには、スピンコーターの重要な部品を保護するための液体ろ過トラップが搭載されています。処理チャンバまたは真空チャックを介して真空管路に入ったすべての液体またはエッチング防止剤を液体容器に集めることができる。スピンコーターハウジングの開口部から容器を見ることができ、メンテナンスが容易です。
カバーは、ユーザインタフェースまたは踏み板(グローブボックス環境での使用に最適)を介して自動的に開閉することができます。また、プロセスレシピの最後のステップで自動的に蓋を開けることもできます。
新しいSPINxシリーズは、ロボット制御/自動化環境への統合を容易にするために、モータのゼロ復帰位置を設定することができます。
えきたいろかトラップ
自動カバー(ハイレベル版では足踏みによる制御も可能)
プログラマブルモータのゼロ復帰位置
シリンジまたは分配ノズル用の中心射出スタンド
ユーザーの安全のためのカバーロックと真空センサ
大型(取り外し可能)タッチスクリーン
USBドライブにフォーミュラを格納し、ソフトウェア更新を行うためのUSBポート
駆動ユニットの仕様:間接式ブラシレス駆動ユニット、最高12000回転/分、高加速度と精度、1-30000回転/分、時計回り/反時計回り及びpuddleモード、デスクトップとビルトインの切り替えが可能な設計
適用可能なプロセス:
コーーティング
清掃
すすぎ/乾燥
現像
エッチング
PDMI及びその他のプロセス

