SE−i分光偏光解析器

一、概要

SE-Vi 集積式その場分光偏光解析装置であり、有機/無機めっきに対して 膜プロセス研究のために開発が必要なinsitu薄膜のオンラインモニタリングにおけるカスタマイズ 開発し、光学フィルムのその場特性分析を迅速に実現する。

二、テストケース

成膜プロセスの監視

膜厚特性評価

三、製品の応用

金属薄膜、有機薄膜、無機薄膜の物理/化学蒸着、ALD蒸着などの光学薄膜プロセス中に実際のその場でオンラインモニタリングし、リアルタイムで測定物性データをフィードバックするために広く応用されている。

技術仕様

武漢頤光科技有限公司（Wuhan eoptics Technology Co.，Ltd.）は国内で偏光解析装置及び光学ナノ測定装置の研究開発、製造と販売を専門とするハイテク企業であり、会社は20年以上の偏光光学測定経験を持つ複数の専門家が共同で設立し、華中科技大学と緊密に協力し、国内の偏光解析光学機器分野で非常に優位な技術チームである。

会社は武漢東湖国家自主革新モデル区に登録され、光谷に立脚し、世界に向けて、科学研究と工業ユーザーに機器、ソフトウェア、サービスなどの総合ソリューションを提供している。

製品は集積回路、半導体、太陽光発電、平板表示、LED照明、記憶、生物、医薬、化学、電気化学、光学めっき、フォトリソグラフィ材料などの多くの分野に広く応用されている。