SE−VF分光偏光解析器

一、概要

SE-m半導体業界向けにカスタマイズされたマイクロゾーンパターン構造測定の専用型スペクトル偏光解析器であり、その採用1 超小型微小スポット検出測定技術， 2 超高速測定速度のカスタマイズなどの技術。透過性を適用できます各種類の基板上の減反膜、導電膜などの薄膜のn/k/d測定は、マイクロゾーンパターンの各種光学パラメータ解析に適している。

二、特色機能

■スポットサイズをカスタマイズでき、最小30 umに達することができる、

■超高速測定、単回測定時間は0.5秒未満、

■シリーズ構成が柔軟で、機能カスタマイズ設計をサポートする、

■コンパクトな構造で、オンライン統合測定に最適。

三、測定例

マイクロストリップパターン構造測定

四、応用シーン

光学定数測定に応用し、各種光学フィルムなどのめっき膜検出応用に適用する。