RIE反応イオンエッチング機

交渉可能更新01/04

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

CIFはRIE反応イオンエッチング機を発売し、RIE反応イオン誘導励起方式を採用し、材料表面の異方性に対する微細構造エッチングを実現した。特に大学、科学研究院所、マイクロ電子、半導体企業実験室での媒体エッチング、シリコンエッチング、金属エッチングなどの研究に適している。使用コストが低く、性価格比が高く、メンテナンスが容易で、処理が迅速で効率的である。RIE反応イオンエッチング機はすべての基材及び複雑な幾何構造に適用してRIE反応イオンエッチングを行う。

製品詳細

CIFはRIE反応イオンエッチング機を発売し、RIE反応イオン誘導励起方式を採用し、材料表面の異方性に対する微細構造エッチングを実現した。特に大学、科学研究院所、マイクロ電子、半導体企業実験室での媒体エッチング、シリコンエッチング、金属エッチングなどの研究に適している。使用コストが低く、性価格比が高く、メンテナンスが容易で、処理が迅速で効率的である。RIE反応イオンエッチング機すべての基材及び複雑な幾何構造に適用してRIE反応イオンエッチングを行う。

具体的には、

◆誘電体材料（SiO 2、SiNxなど）

◆絵のような風景「Hongkuang，said Xiao Hongkuan，a student of Xiao Honghan，had been said。

◆III-V材料（GaAs、InP、GaNなど）

◆スパッタ金属（Au、Pt、Ti、Ta、Wなど）

◆ダイヤモンド類（DLC）

応用分野：

RIE反応イオンエッチング機主にマイクロ電子チップ、太陽電池、バイオチップ、ディスプレイ、光学、通信などの分野のデバイスの開発と製造に用いられる。

製品の特徴

◆7インチカラータッチスクリーンにおける英語インタラクティブ操作インターフェースは、プロセスパラメータの状態を自動的に制御監視し、20個のレシピプログラム、プロセスデータを記憶して遡及することができる。

◆PLC制御機は洗浄過程全体を制御し、手動、自動の2種類の動作モードを制御する。

◆真空ハッチ、全真空管路システムの採用 316ステンレス鋼の材質で、腐食に耐えて汚染がありません。