CIF生産型プラズマ洗浄機

交渉可能更新01/04

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

CIF生産型プラズマ洗浄機$r$nCIFが発売した中試験生産型プラズマ洗浄機は、研究開発型顧客と工業級顧客のために設計されたプラズマ表面処理装置である。配置が豊富で、真空チャンバ内は層化でき、多くの生産シーンの洗浄、活性化、エッチングなどの応用に適している。設備は厳しい環境下で安定して運行でき、製品の性能は安定し、サンプル処理の繰り返し性、一致性は良い。

製品詳細

製品の特徴

◆7寸カラータッチスクリーン中の英語インタラクティブ操作インターフェース、プロセスパラメータ状態を自動的に監視し、20個のレシピプログラム、プロセスデータを記憶、出力、遡及することができる。

◆PLC制御機は洗浄過程全体を制御し、手動、自動の2種類の動作モードを制御する。

◆CIF生産型プラズマ洗浄機質量流量計を採用し、ガス流量制御がより正確である。標準的に2ウェイガス輸送システムを配置し、多気路ガス輸送システムを選択可能である。酸素、アルゴン、窒素、四フッ化炭素、水素、または混合ガスなどのガスを入力することができます。

◆多孔道吸気方式を採用し、従来のプラズマ洗浄機の単孔吸気不均一問題を変更する。

◆HEPA高効率ろ過、ガス再充填パージ、二次汚染防止。

◆316ステンレス真空チャンバー、清潔で汚染がない。

◆全真空管路システムは316ステンレス鋼材質を採用している。

◆処理が効率的で均一で、効率が高く、プロセスの繰り返し性が良い。

◆合理的な構造設計、設備占有空間が小さい。

◆各種材質、形状、寸法サンプルを扱うことができます。