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メール
27518410@qq.com
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電話番号
18611817232
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アドレス
北京市朝陽区北辰西路69号峻峰華亭D座1209室
北京格微計器有限公司
概要
GVC-1000無線周波数マグネトロンスパッタリングめっき装置は主に走査電子顕微鏡めっき導電膜に適用され、装置の操作が簡単で便利で、サンプルの製造に必要な装置である。適用するターゲット：金、白金、金パラジウム合金、銀、鉛、銅、クロム、アンチモンなど！
製品詳細
GVC-1000無線周波数マグネトロンスパッタリングめっき装置（全自動イオンスパッタリング装置）は主に走査電子顕微鏡めっき導電膜に適用され、装置の操作が簡単で便利で、サンプルの製造に必要な装置である。適用するターゲット：金、白金、金パラジウム合金、銀、鉛、銅、クロム、アンチモンなど！
記述
1、イオンスパッタリング装置の動作原理：マグネトロンスパッタリング、
2、選択可能なターゲット：金、白金、金パラジウム合金、鉛、銀、銅、クロム、アンチモンなど、
3、真空室：φ128×100高珪素ホウ素ガラス、
4、全自動操作で、簡単で使いやすく、タングステンフィラメント、卓上走査電子顕微鏡などに非常に適用する。
スパッタリング電流の自動調整－スパッタリング電流を設定した後、システムは自動的に真空度を調整して、それによって設定したスパッタリング電流に達して、調整時間＜5 s、波動範囲＜±5%；
5、「実験」ボタンを押してスパッタ電流を調整する必要がなく、「吸気弁」を操作する必要がない：
（1）スパッタリング時間自動記憶——同類サンプルを一度に設定すればよい、
（2）パラメータ変更自動調整——スパッタリング過程中に随時スパッタリング電流とスパッタリング時間を調整することができ、システムは自動的に重畳を計算し、スパッタリング過程を中止する必要はない、
（3）作業完了後の自動排気、
（4）サンプル台の高さ調整が1秒で完了した、
（5）スパッタリング過程は曲線表示を利用でき、明確で直感的である；
（6）限界真空：1 Pa未満、
6、ソフトウェアとハードウェアのインターロック、誤操作防止、安全信頼性：
（1）真空度が100 Paより高く、真空保護を起動し、スパッタできない、
（2）スパッタ電流が50 mAより高く、スパッタプロセスを停止する、
（3）真空ポンプ動作時、システムは排気操作ができない、
7、GVC-1000無線周波数マグネトロンスパッタリングめっき装置のめっき層は均一で、導電性は良好である。
