Model 656紫外線光強度とエネルギー計

Model 656紫外線光強度とエネルギー計

半世紀以上にわたり、OAIは半導体、マイクロ電気機械システム（MEMS）、ウエハパッケージ、ウエハバンプ製造などの業界におけるリソグラフィ技術の信頼性、正確な較正制御のための紫外光強度とエネルギー測定機器の分野で使用されてきた。新型656型は、接触型/近接型マスクアライナと汎光露光システムのために設計された*の紫外露光分析器である。この機器は最大400組の露光読取数を格納でき、記録された測定データをダウンロードするためのイーサネットとUSBインタフェースを搭載し、光強度の測定距離は最大2000 mW/cm 2に達することができる。プローブの任意の波長は、220ナノメートル、248ナノメートル、260ナノメートル、310ナノメートル、325ナノメートル、365ナノメートル、380ナノメートル、400ナノメートル、420ナノメートル、436ナノメートル、540ナノメートルを含む。OAIは、私たちの機器の性能、品質、信頼性を保証するための完全な較正実験室を持っています。656型機器は、米国国立基準技術研究院（NIST）基準にさかのぼることができ、EU RoHS 2（「電子電気機器におけるいくつかの有害成分使用制限に関する指令」第2版）とCE（欧州適格評定）認証要件に適合している。

接触式/近接式アライナとの併用

極めて正確で信頼性の高い

測定データはダウンロードしやすい

平方センチメートルあたり最大2000ミリワット

最大400セットの測定データを格納可能

ROHS 2（『電子電気機器におけるいくつかの有害成分の使用制限に関する指令』第2版）及びCE（欧州適格評定）基準を満たし、製品の環境保護及びコンプライアンス面での属性を際立たせ、機器の適応場面、性能優位性とコンプライアンス状況を説明するために用いられる。

Model 656紫外線光強度とエネルギー計仕様説明

計器仕様

ユーザーインタフェース：タッチスクリーン

コンピュータインタフェース：記録された測定データをダウンロードするためのオプションのイーサネットとUSBインタフェース

電源：電池給電、充電保護付き3.7 V充電可能リチウムイオン電池を採用

充電器電源：110-240 V交流電圧

表示設定：デュアルスクリーン

設定画面-Ethernetアドレス、日付、時刻

運転画面-波長、光強度、時間、線量、プローブ温度、プローブタイプ、偏差率、シリアル番号、キャリブレーション期日、バッテリ状態、プローブシリアル番号、充電器状態

ストレージ容量：最大400示度

光強度範囲：最大2000 mW/cm²

光強度分解能：0.01 mW/cm²

用量範囲：最高1000 J/cm²

用量分解能：0.01 mJ/cm²

時間範囲：最長9999秒

時間解像度：0.0001秒

最小線量露光：25ミリ秒

サイズ：14インチ×8.25インチ×3.5インチ

重量：3.5ポンド

動作環境：15℃-40℃

コンプライアンス：ROHS 2およびCE（電磁互換性とセキュリティ）基準を満たす

プローブ仕様

プローブ検出器：シリコンフォトダイオード

可选波长：220nm、248nm、254nm、260nm、310nm、325nm、365nm、380nm、400nm、420nm、436nm和 540nm

フィルター：多層吸収/誘電体フィルター

光強度範囲：最大2000 mW/cm²

互換性：任意の656型プローブを任意の656型計器と併用可能

コンプライアンス：ROHS 2およびCE（電磁互換性とセキュリティ）基準を満たす