顕微鏡冷熱テーブル

HCS621GXY型顕微鏡冷熱テーブル顕微鏡/分光計用に設計されています。この冷却テーブルは-190℃~ 600℃の範囲内で温度を制御することができ、同時に光学観察とサンプルガス環境制御を可能にする。ホットテーブルの上カバーと底シェルは気密チャンバを構成し、窒素などの保護ガスを内部に充填して、サンプルが負の温度で霜を結んだり、高温で酸化したりするのを防止することができる。また、冷熱テーブルには、シールチャンバの外からサンプルを移動できるXYサンプル微分移動尺が付いている。また、真空チャンバモデルHCS 421 VXYも提供されています。

顕微鏡冷熱テーブル機能特徴

顕微鏡/分光計に適用

-190℃~ 600℃のプログラマブル温度制御（負の温度には液体窒素冷却システムが必要）

直径26 mmの光透過孔付き加熱領域

試料をXY方向に移動する微分移動尺

シールドガスを充填可能な気密チャンバ（真空チャンバ型式を別とする）

温度制御器やコンピュータソフトウェアから制御でき、ソフトウェアSDKを提供できる

温度制御パラメータ

温度範囲-190℃~ 600℃（負の温度には液体窒素冷凍システムが必要）

加熱ブロック材質銀

センサ/温度制御方式100Ω白金RTD/PID制御

最大加熱/冷房速度+150℃/min（100℃時）

-50℃/min（100℃時）

最小加熱/冷房速度±0.01℃/min

温度分解能0.01℃

温度安定性±0.05℃（>25℃）、±0.1℃（<25℃）

ソフトウェア機能は温度制御速度を設定でき、温度制御プログラムを設定でき、温度制御曲線を記録できる

光学パラメータ

適用光路透過光路及び反射光路

窓片の取り外し可能な窓片と交換可能な窓片

最小対物レンズ作動距離5 mm*断面図におけるWD

最小集光レンズ作動距離11.5 mm*断面図におけるCWD

透光孔φ2 mm*断面図におけるφVA

上カバー窓シート観察窓シート範囲φ18 mm、最大画角±58°*断面図中θ1

底部窓シート観察窓シート範囲φ18 mm、最大画角±19°*断面図中θ2

負温下窓シート除霜ブロー除霜管路

構造パラメータ

加熱ゾーン/サンプルゾーンØ26 mm

*XY移動定規を使用する場合のサンプル領域はサンプル基板によって決定される

サンプルキャビティ高さ2.5 mm

*サンプルの最大厚さ=サンプルキャビティの高さ-サンプル基板の厚さ

試料基板のデフォルトは石英るつぼ（内径>9 mm/厚さ0.5 mm）

*ユーザーの使用ニーズに応じて他のユーザーに交換可能

上カバーを抜去してサンプルを入れる

サンプルXY移動尺は密封空洞外からサンプルを移動でき、分解能は10μm、ストロークは10 mm

雰囲気制御気密チャンバ、保護ガス充填可能

ケーシング冷却は、ケーシング温度が常温付近に維持されるように循環水を通すことができる

取付方式水平取付または垂直取付

台体尺寸/重量 159.7 mm x 86 mm x 22 mm/500g

構成リスト

基本配置HCS 621 GXY冷熱台、mK 2000 B温度制御器

オプション部品冷熱台取付ブラケット、液体窒素冷凍システム、ケーシング循環水冷システム、、

真空システム（真空モデルのみ）

適用範囲

Instec冷熱テーブル、Instec温度制御プローブテーブル、Instec温度制御ウェハチャック、Instec冷熱平板、Instecカスタム温度制御装置を組み合わせて使用するために使用される。

温度制御部品シリーズ

取付ブラケット：温度制御装置をユーザ機器に固定するためのもの

mK 2000 B温度制御器、InstecAPP温度制御ソフトウェアを含み、温度制御装置は必ず選択する

LN 2-SYS液体窒素冷凍システム：液体窒素ポンプ+液体窒素タンク+液体窒素ライン

外殻循環水冷システム、パルプ式温度制御装置必須

MITOシリーズの温度制御用顕微鏡カメラ、制御ソフトウェアを含む

LWDC 2長動作距離集光レンズ

真空システム：真空ポンプ+真空管路を含み、真空型温度制御装置に用いる

LN 2-SYS液体窒素冷凍システム

主に液体窒素ポンプと液体窒素タンクの2つの部分に分けられる。使用時には管路を用いて温度制御装置を液体窒素タンクと液体窒素ポンプの間に連結し、温度制御装置の加熱ブロック内に閉鎖式出入り管路を埋め、液体窒素ポンプはmK 2000 Bの制御を受けて抽気を行い、液体窒素タンク内から温度制御装置の加熱ブロックに液体窒素を吸引し、温度制御装置の能動的な降温を実現する必要がある。

ハウジング循環水冷システム

温度制御装置用のケーシング/シャーシの冷却。温度制御装置が加熱/冷却されると、筐体/台座の温度は非常に熱く/冷たく保たれ、周辺の人員設備や設備自体に危害を及ぼす。循環水で外殻温度を常温付近に保つことで、この災害を効果的に予防することができる。

mK 2000 B温度制御器

恒温、一定速度の温度変化、一時停止、プログラミング温度制御機能をサポートする。冷熱独立の多段PID制御、4セットの20段校正表を保存できるなどの特徴がある。独立して制御することも、InstecAPPソフトウェアから制御することもできます。

温度分解能±0.001℃（サーミスタ），±0.01℃（RTD），±0.1℃（熱電対）

制御インタフェースUSB仮想シリアルポートオプションの他のインタフェース

電気ノイズを低減するためのオプションLVDCリニア調整可能な直流電源

温制御ソフトウェアInstecAPP、多言語SDKを提供可能

マウントブラケット

ユーザー設備のカスタマイズに対して、ホットテーブルの水平固定/垂直固定など、垂直光路/水平光路などのユーザー設備を適用することができる。通常、次のようなものがあります。

円環式（円形ステージ用）、平板式（方形ステージ用）、

ステージ（装置ステージの代わりに使用）、縦型（水平光路用）。