マイクロプローブ冷熱台

HCP421V-PM型マイクロプローブ冷熱台単独で使用することもでき、顕微鏡/分光計を組み合わせて使用することもできます。これは-190℃~ 400℃の範囲内で温度を制御することができ、同時にプローブ電気試験、光学観察、サンプルガス環境制御を可能にする。プローブ台の上蓋と底殻は真空引き可能な密封室を構成し、窒素などの保護ガスを内部に充填して、サンプルが負の温度で霜を結んだり、高温で酸化したりするのを防止することができる。

マイクロプローブ冷熱台機能の特徴：

顕微鏡/分光計に使用できるミニ温度制御プローブ台

-190℃~ 400℃のプログラマブル温度制御（負温度には液体窒素冷却システムが必要）

φ26 mm加熱領域

真空引き可能なキャビティ、保護ガスを入れて使用することもできます

SMA継手BNC四プローブ、手動点針

*オプションの6プローブ*オプションの3同軸インタフェース、pAのレベルテスト用

温度制御パラメータ：

温度範囲-190℃~ 400℃（負の温度には液体窒素冷凍システムが必要）

センサ/温度制御方式100Ω白金RTD/PID制御（LVDCノイズ低減電源を含む）

最大加熱/冷房速度30℃/min

最小加熱/冷房速度±0.01℃/min

温度分解能0.01℃

温度安定性±0.05℃（>25℃）、±0.1℃（<25℃）

ソフトウェア機能は温度制御速度を設定でき、温度制御プログラムを設定でき、温度制御曲線を記録できる

電気パラメータ：

プローブのデフォルトはレニウムタングステンマテリアルのベンドプローブ*その他の種類のプローブを選択可能

プローブホルダレバー式プローブホルダは、点針力がより大きく、電気接触性がより良い

各プローブホルダーがサンプル領域上の任意の位置に点を打つことができる点針手動点針

プローブインタフェースのデフォルトはSMA継ぎ手からBNCへの変換

*キャビティ内配線柱の増設が可能（サンプル配線）

試料メサ電位はデフォルトでは電気接地であり、電気サスペンション（バック電極として）を選択可能、3同軸インタフェースを選択可能

非磁性改造台体は非磁性材質で製造することができ、温度変化ホール効果プローブ試験に用いる

光学パラメータ：

適用光路反射光路*別途透過光路モデル

窓片の取り外し可能な窓片と交換可能な窓片

最小対物レンズ作動距離8 mm*断面図におけるWD

透光孔台面にはデフォルトの透光孔がなく、透過光路をサポートするために透光孔を増設することができる

上カバー窓シート観察窓シート範囲φ18 mm、最大画角±45°*断面図中θ1

負温下窓シート除霜ブロー除霜管路

構造パラメータ：

加熱ゾーン/サンプルゾーンφ26 mm

試料空洞の高さ5.8 mm*試料の最大厚さはプローブによって決定される

サンプリングして上カバーを開けてからサンプルを入れてから点針し、カバーを閉めてからプローブを動かすことができない

雰囲気制御真空引き可能なキャビティ、保護ガスを充填して使用することもできる

ケーシング冷却は、ケーシング温度が常温付近に維持されるように循環水を通すことができる

取付方式水平取付または垂直取付

台体尺寸/重量180 mm x 130 mm x 27 mm/1600g

構成リスト：

基本配置HCP 421 V-PM温度制御プローブ台、mK 2000 B温度制御器、ケーシング循環水冷システム

オプション部品取付ブラケット、テストソーステーブル、真空システム、三同軸BNCインタフェース、メサ電気サスペンション、サンプル接電リード