顕微鏡高温ホットテーブル

HS1500G顕微鏡高温ホットテーブル顕微鏡/分光計上の超高温応用のために設計され、陶磁器、冶金、地質、高温材料などの分野に用いることができる。サンプル接電リード線を追加することができ、サンプル領域をカスタマイズすることができる。この高温ホットテーブルは30℃~ 1500℃の範囲で温度を制御することができ、同時に光学観察とサンプルガス環境制御を可能にする。ホットテーブルの窓カバーと台体は気密チャンバを構成し、サンプル領域は窓の中心からずれている。これにより、窒素などの保護ガスを充填し、サンプルの高温下での反応を防止し、窓シートを回転させることにより窓シート上の揮発物を除去することができる。

顕微鏡高温ホットテーブル機能の特徴：

顕微鏡/分光計の超高温応用に適している

30℃~ 1500℃のプログラマブル温度制御

Φ7.5 mm加熱領域

試料領域-窓偏心設計、回転窓片から高温揮発物を取り外すことができる

シールドガス充填可能な気密チャンバ

温度制御器やコンピュータソフトウェアから制御でき、ソフトウェアSDKを提供できる

かさ上げカバー

赤外線装置の超高温応用に適している

加熱領域と赤外線ガラスの距離を増やし、損傷を防止する

温度制御パラメータ

温度範囲30℃~ 1500℃

加熱ブロック材質耐高温セラミックス

センサ/温度制御方式S型熱電対/PID制御

最大加熱+100℃/min（＜800℃の場合）、+20℃>800℃の場合）

最小加熱±0.5℃/min

温度分解能0.1℃

温度安定性±1℃

ソフトウェア機能は温度制御速度を設定でき、温度制御プログラムを設定でき、温度制御曲線を記録できる

光学パラメータ

適用光路透過光路及び反射光路

窓片の取り外し可能な窓片と交換可能な窓片

最小対物レンズ作動距離6.3 mm（標準）11.7 mm（ハイトカバー）*断面図におけるWD

最小集光レンズ作動距離13.3 mm*断面図におけるCWD

透光孔Φ2 mm*断面図におけるΦVA

上カバー窓シート観察窓シート範囲Φ50 mm、最大画角±45°（標準）

窓板範囲Φ16 mm、最大画角±34°（かさ上げカバー）*断面図中θ1

底部窓シート観察窓シート範囲Φ16 mm、最大画角±19°*断面図中θ2

高温下での顕微鏡冷却ブローガス冷却

構造パラメータ

加熱ゾーン/サンプルゾーンΦ7.5 mm

サンプルキャビティ高さ3.5 mm

*サンプルの最大厚さ=サンプルキャビティの高さ-サンプル基板の厚さ

試料基板のデフォルトは石英るつぼ（Φ6 mmx 1 mm）

上部カバーの圧力調整可能な窓カバーは、気密型と窓片の回転を両立

雰囲気制御気密チャンバ、保護ガス充填可能

ケーシング冷却は、常温付近でケーシング温度を維持するために循環水を通す

取付方式水平取付または垂直取付

台体尺寸/重量 141 mm x 62 mm x 25.3 mm/1350g

構成リスト

HS 1500 G高温ホットテーブル、mK 2000 B温度制御器、ケーシング循環水冷システムを基本的に配置する

オプション部品冷熱台取付ブラケット、真空システム（真空型番用のみ）、サンプル接電リード

適用範囲

Instec冷熱テーブル、Instec温度制御プローブテーブル、Instec温度制御ウェハチャック、Instec冷熱平板、Instecカスタム温度制御装置を組み合わせて使用するために使用される。

温度制御部品シリーズ

取付ブラケット：温度制御装置をユーザ機器に固定するためのもの

mK 2000 B温度制御器、InstecAPP温度制御ソフトウェアを含み、温度制御装置は必ず選択する

外殻循環水冷システム、パルプ式温度制御装置必須

MITOシリーズの温度制御用顕微鏡カメラ、制御ソフトウェアを含む

LWDC 2長動作距離集光レンズ

真空システム：真空ポンプ+真空管路を含み、真空型温度制御装置に用いる

ハウジング循環水冷システム

温度制御装置用のケーシング/シャーシの冷却。温度制御装置が加熱/冷却されると、筐体/台座の温度は非常に熱く/冷たく保たれ、周辺の人員設備や設備自体に危害を及ぼす。循環水で外殻温度を常温付近に保つことで、この災害を効果的に予防することができる。

mK 2000 B温度制御器

恒温、一定速度の温度変化、一時停止、プログラミング温度制御機能をサポートする。冷熱独立の多段PID制御、4セットの20段校正表を保存できるなどの特徴がある。独立して制御することも、InstecAPPソフトウェアから制御することもできます。

温度分解能±0.001℃（サーミスタ），±0.01℃（RTD），±0.1℃（熱電対）

制御インタフェースUSB仮想シリアルポートオプションの他のインタフェース

電気ノイズを低減するためのオプションLVDCリニア調整可能な直流電源

温制御ソフトウェアInstecAPP、多言語SDKを提供可能

マウントブラケット

ユーザー設備のカスタマイズに対して、ホットテーブルの水平固定/垂直固定など、垂直光路/水平光路などのユーザー設備を適用することができる。通常、次のようなものがあります。

円環式（円形ステージ用）、平板式（方形ステージ用）、

ステージ（装置ステージの代わりに使用）、縦型（水平光路用）。