HMS-5000/5500ホール効果試験器

ホール効果テスタは主に半導体材料のキャリア濃度、移動度、抵抗率、ホール係数、導電型などの重要なパラメータを測定するために用いられるが、これらのパラメータは半導体材料の電気特性を理解するために事前に制御しなければならないので、ホール効果テスタは半導体装置と半導体材料の電気特性を理解し、研究するツールである。

ECOPIA社のHMSシリーズホール効果測定システムは主に定電流源、ファンデルベルク法則終端変換器、低温（77 K）測定システム及び磁場強度入力システムから構成され、半導体材料ホール効果を研究するすべての部品と配置を持ち、非常に成熟した計器システムである。同時にHMSシリーズ計器が複数のホール効果測定システム、測定方法を獲得した場合、ホール効果測定の*品質と合理的な製品価格を代表し、そして*顧客に認可された。同製品は2004年7月にCE認証を取得した。

製品特徴：

1、信頼できる精度と再現性

定電流源（1 nA ~ 20 mA）は6段電流範囲の設定を採用し、受信可能な誤差を降下する、ファンデルベルクの法則変換非接触装置を用いて効果的に機器騒音を低減する、ソフトウェアとハードウェアには的確な設計があり、各実験データが複数回のテストの平均値であることを確保し、機器に非常に良いデータ再現性を持たせる。

2、製品の小型化と操作の簡単化

小型の磁場強度入力システムは永久磁石と液体窒素低温測定システム（77 K）を使用し、機器の操作が非常に簡単であることを確保する。2種類の異なるサイズの伝統的なサンプルプレート（20*20 mm、6*6 mm）とスプリングクリップ付きのサンプルプレート（SPCB）は、異なるサイズの異なる材料のフィルムサンプルをより測定しやすくし、伝統的なサンプルプレートのスプリングクリップサンプルプレートとは異なり、ホール電極の作製をより便利にし、サンプルへの損傷をより小さくした。

3、I-V曲線及びI-R曲線測定

グラフを用いて、プローブの4点（A、B、C、D）間の電流−電圧及び電流−抵抗関係を測定し、これによりサンプルのオーミック接触の良否を評価し、サンプルの基本的な電気特性を理解する。

4、多様な実験結果

実験結果はソフトウェアによって自動的に計算され、バルクキャリア濃度（Bulk Carrier Concentration）、表面キャリア濃度（Sheet Carrier Concentration）、移動度（Mobility）、抵抗率（Resistivity）、ホール係数（Hall Coefficient）、磁気抵抗（Magnetoresistance）、抵抗のアスペクト比（Vertical/Horizontal ratio of resistance）などを同時に得ることができる。

製品構成：

ホスト（精密定電流源＋ファンデルベルク法則終端変換器）／マグネットパッケージ（サンプルボードを含む）／ソフトウェアなど。

製品仕様：

1、主要計器パラメータ

入力電流：1 nA ~ 20 mA、

抵抗率：10 exp（-5）～10 exp 7Ω.cm、

キャリア濃度：10 exp 7 ~ 10 exp 21 cm−3、

移動度：1 ~ 10 exp 7 cm 2/Volt.sec、

磁場強度：0.37 T、0.55 T、1 T、0.25 ~ 1 T変場磁石、

サンプル測定板：PCBサンプル板、SPCBスプリングサンプル板、ウエハサンプル板など、

サンプルサイズ：5 mmX 5 mm～20 mmX 20 mm（30 mmまたは2 inch大サンプルプレートをオプションで配合可能）、

測定温度：常温、77 K液体窒素浴、

2、ソフトウェア操作環境

XP/Win 7/Win 8/Win 10環境下

3、実験結果

バルクキャリア濃度、表面キャリア濃度、

移動度

ホール係数

抵抗率、ブロック抵抗、

磁気抵抗

抵抗のアスペクト比、

4、計器の寸法と重量

本体サイズ：360×300×105 mm（W×H×D）磁石Kitサイズ：200×120×110 mm（W×H×D）、

正味重量：7.7 kg、

5、測定材料

Si、SiGe、SiC、ZnO、GaAs、InGaAs、InP、GaN、ITOなどのすべての半導体薄膜（P型とN型）、