GVC-5000多機能コーティング装置

• デュアルコンポーネント設計

マグネトロンスパッタリングによる逐次及び熱蒸発めっきモジュールを備え、マグネトロンスパッタリングによる各種金属膜の実現、熱蒸発度炭素膜の実現が可能である。

デュアルコンポーネントが共存しており、作業時にサンプルを対応するコンポーネントの下に置くだけでよく、コンポーネントを交換する必要がなく、操作が非常に便利です。

• 汚染防止バッフル設計

全自動汚染防止バッフルは、マグネトロンスパッタリングモジュールの動作時に自動的に炭素めっきモジュールに切り替え、蒸発源の汚染を防止し、その逆も同様である。

• ワンタッチ切り替え

2つの動作モードを1キーで切り替え、電源を入れるたびに自動的に最後にシャットダウンした動作モードに入ります。

• 全自動操作