CIF中試験型プラズマ洗浄機CPC-10シリーズ

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概要

CIFは次世代CPC-10シリーズの実験室型プラズマ洗浄装置を発売し、伝統的なプラズマ洗浄装置の設計理念を変えた。大きなキャビティサイズと有効サンプル処理面積を有し、使用コストが低く、性価比が高く、処理が迅速で効率的で、特に大学、科学研究院所と光電企業実験室の小ロット中での試験生産に適している。

製品詳細

製品特徴：

◆7インチカラータッチスクリーンにおける英語インタラクティブ操作インターフェースは、プロセスパラメータの状態を自動的に制御監視し、20個のレシピプログラム、プロセスデータを記憶して遡及することができる。

◆PLC制御機は洗浄過程全体を制御し、手動、自動の2種類の動作モードを制御する。

◆石英真空チャンバー、真空管路システム採用316ステンレス鋼の材質で、腐食に耐えて汚染がありません。

◆質量流量計を用いて、ガス入力の正確な制御を実現し、伝統的なフロート流量計を変えてガス流量の不正確な問題を制御する。

◆HEPAは効率的にろ過し、ガスを再充填してパージし、二次汚染を防止する。

◆60度傾斜角操作インタフェースの設計は、人体機能学に符合し、操作が便利で、インタフェースが友好的である。

◆真空チャンバーを頂置し、上開き蓋の設計、下押し式ヒンジスイッチ方式、スイッチ蓋が便利である。

◆スプラッシュ多孔質吸気方式を採用し、従来のプラズマ洗浄機の単孔質吸気不均一問題を変更した。

◆アップセット360度自由水平取出しサンプルトレイの設計は、人体機能学に符合し、操作がより便利である。

◆有効洗浄面積が大きく、洗浄可能な最大直径8インチシリコンシート。

◆安全保護、ハッチドアが開き、自動的に電源がオフになります。

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