エアキャリア粒子計数器

交渉可能更新01/08

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概要

気体担持粒子計数器は粒子の消光原理に基づいて、独創的な光学空間低域フィルタリングハードウェア技術を採用し、回折補正アルゴリズムの特許を結合して、ミクロン級気体担持粒子の粒度分布と個数を正確に測定することができて、現在の計器市場で大粒子を監視できなかった痛い点をカバーしている。

製品詳細

現在、既存のフォトレジスト法粒子計数器はクリーンルームの空気中粒子（空気担持粒子）監視に広く応用されているが、光路原理やサンプリングアルゴリズムなどの制限設計のため、既存のフォトレジスト法計器は空気中の大粒子を比較的正確にサンプリングし、測定することができない。

本装置は粒子消光原理に基づいて、光学空間低通過フィルタリングハードウェア技術を採用し、回折補正アルゴリズムと結合して、ミクロン級気体担持粒子の粒度分布と個数を正確に測定でき、現在の計器市場で大粒子を監視できなかった痛い点をカバーした。

主なパフォーマンス指標
◆測定範囲28μm ~ 640μm
◆単機報告による9粒径通路、内蔵36粒径通路
◆粒径反復性標準誤差<2%
◆粒径精度標準誤差<5%
◆全レンジ粒子数誤差<10%
◆ファン流量偏差±2 L/min

APC 610エアキャリア粒子計数器vs従来のフォトレジスト法粒子計数器

真理光学APC 610エアキャリア粒子計数器	従来のフォトレジスト法による粒子試験
粒子の真の幾何粒子径を測定することができる	粒子の等価消光粒径しか測定できない
測定精度は粒子の屈折率と吸収係数に影響されず、どんな材料からなる粒子でも正確な測定結果を得ることができる	粒子材料の屈折率と吸収係数の影響を受け、例えば吸収係数の低い粒子では、測定結果が小さくなる、逆に測定結果が大きくなる
測定精度が高く、粒径測定の理論誤差は1%を超えない	正確性が保証されていない
詳細な粒度分布データを提供できる	大まかな粒径分割データのみを提供できます
測定ユニットは駆動ユニットと分離し、サンプリングバケットに直接接続して設計され、測定ユニットは狭い空間に配置して測定することができ、パイプ汚染が測定精度に与える影響を回避する	サンプリングバケットを測定空間に置くしかなく、パイプ内の粒子堆積と汚染は測定結果の正確性に直接影響する
測定ユニット内の測定室とサンプリングバケットは取り外し可能で、清掃と交換が便利である、配管の汚染は測定に影響しない	測定室の清掃が困難で、配管の完全な洗浄が困難である

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