走査電子顕微鏡

走査電子顕微鏡

高品質なイメージングと高度な微細化を実現分析機能のFE-SEM

蔡司Sigmaシリーズ製品集場エミッタ走査電子顕微鏡（FE-SEM）技術は良好なユーザー体験と一体となり、イメージングと分析プログラムを容易に実現し、作業効率を高めることができる。新しい材料や粒子の品質監視や、生物や地質サンプルの研究に使用することができます。高解像度イメージングにおいて、低電圧を用いて、1 kV以下の電圧でより良い解像度とライニングを得る。優れたEDS幾何学的設計により、2倍の速度とより高い精度で分析データを取得するための高度な顕微鏡分析を実行できます。

·シグマ 360直感的なイメージングと分析ですFE-SEMは、分析テストプラットフォームの理想的な選択です。

・Sigma 560は＊のEDS幾何学設計を採用し、高フラックス分析を提供し、自動その場実験を実現することができる。

Gemini 1の光学系

Gemini 1の光学系は、対物レンズ、電子ビームプロペラ、Inlens検出原理を有する検出器の3つの要素から構成されている。その中で、対物レンズの設計は静電場と磁場の作用力を結合し、光学性能を大幅に最適化すると同時に、サンプルが置かれている場の影響を低減した。このようにしても、磁性材料などに挑戦的なサンプルの高品質イメージングを実現することができる。Inlens検出原理は、二次電子（SE）および／または後方散乱電子（BSE）の検出によって効率的な信号検出を確保するとともに、画像取得時間を大幅に短縮する。電子ビーム推進器は、小さいサイズの電子ビームスポットと高い信号対雑音比を保証する。

フレキシブルプローブ

Sigmaには一連の異なる検出器が搭載されており、新しい検出技術によってサンプルを特徴づけることができます。ETSEとInlens検出器を用いた高真空モードは表面形態の高分解能情報を得ることができる。VPSEまたはC 2 D検出器の可変圧力モードを用いて明瞭な画像を得ることができる。aSTEM検出器を用いて高分解能透過電子イメージングを行うことができる。aBSD検出器のような異なるオプションのBSE検出器を用いて、試料の成分と表面形態を深く研究することができる。

NanoVP liteモード

NanoVP liteモードを用いて分析とイメージングを行い、低電圧条件下でより高い画質を得ることができ、より迅速により正確な分析データを得ることができる。

·NanoVP liteモードでは、スカート効果が低下し、入射ビーム流の経路長（BGPL）が減少する。スカートエッジの減少はSEとBSEイメージングの信号対雑音比を高める。

·5段円弧を持つ伸縮式aBSDは優れた材料成分のライニングを提供することができる：NanoVP liteの動作中、この検出器は極靴の下に設置されたビームフロースリーブを備え、それは高フラックスと低電圧の成分と表面形態の高ライニングイメージングを提供することができ、可変圧力と高真空条件に適している。

ライフサイエンス

原生動物または真菌の微細構造とナノ構造に関する詳細な情報を知り、切断サンプルまたはシート上の超微細構造を取得する。

地球科学と自然資源

岩石、鉱石、金属を探索する。

工業応用

金属、合金、粉末の研究方法を理解する。