電界放出走査電子顕微鏡

蔡司GeminiSEM 560

FE−SEMはサブナノイメージング、分析、サンプルの柔軟性の高い要件を満たしている

ツァイスGeminiSEMは、サブナノメートルレベルの解像度のイメージングを容易にするのに役立ちます。優れたイメージングと分析技術により、FE-SEM（電界放出走査電子顕微鏡)が鬼に金棒。革新的な電子光学システムと新しいサンプル倉庫設計を採用し、操作がより簡単になるだけでなく、用途がより柔軟で多様になるだけでなく、より高い画像品質をもたらすことができます。1 kV未満のサブナノスケール画像を水浸し対物レンズなしで撮影できる。蔡司Gemini電子光学系の3つの設計を探索する：

l分析テストプラットフォームの理想的な選択——蔡司GeminiSEM 360

l効率的な分析を実現する——蔡司GeminiSEM 460

l表面イメージングの新基準――蔡司GeminiSEM 560

ジェミニSEM 560電界放出走査電子顕微鏡）表面感度、歪みなし、高解像度イメージングの基準を全面的に向上させ、1 kV未満の条件下で容易にイメージングすることができる。Gemini 3ミラーカートリッジや新しい電子光学エンジンSmartAutopilotも導入され、あらゆる動作条件でシリーズの高解像度を達成することができます。

✔表面イメージングの新しい基準

✔専門知識の統合

✔優れたライニングを体験

1 kV以下のイメージングを容易に実現

✔ Gemini 3鏡筒は、1 kV未満、解像度1 nm未満の条件下で無漏れ磁気イメージングを行い、サンプル台バイアスやモノクロメータを必要としない。Nano-twin対物レンズと新しい電子光学エンジンSmart Autopilotを含む。

✔ 新しい可変圧力モードと探査システムを用いて非導電物質の画像を得ることができる：VPモードで、低光毒性サンプル交換室を通過した後、真空敏感サンプルをサンプル室に入れて、特徴を残しながら迅速に結果を得ることを確保することができる。

✔ デュアルEDSポート付き新しい大見本品庫は簡単に精密サンプルを分析する。優れた検出器の立体角により、高速で影のないイメージングが可能になります。

専門知識の統合

✔ このシステムの観察視野は大幅に増加し、簡単なサンプルナビゲーションを容易に行うことができる。

✔ 要求が厳しいサンプルに対して、新しい電子光学エンジンSmart Autopilotはイメージング速度を大幅に向上させた。これにより、時間のかかる合焦を必要とせずに時間を節約できます。このエンジンは電子光学系を駆動し、倍率の範囲を1倍未満から500,000倍にして、全過程で自動対中、校正、合焦を行うことができます。新しい視差オートフォーカスを取得することも含まれており、新しいオートスイング機能により、数秒以内に鮮明な画像を提供します。

✔ 3次元STEMトモグラフィーイメージングなどの自動ワークフローでPythonスクリプトを使用することができます能（のう）

優れたライニングを体験

✔ 設定した作業前提で有効な点を見つけることは、適切なパラメータの組み合わせを選択したことを意味し、理想的な画像を実現するためのコツは、そのパラメータの組み合わせを見つけることです。Gemini無漏れ磁気技術とその新しいGemini 3ミラーカートリッジは、新しい情報を探索するための理想的なパラメータの組み合わせを提供します。

✔ 試料上の磁場は2 mT未満であり、磁区ライニングイメージングを容易に実現することができる。エネルギー選択可能なInlens後方散乱検出器を用いてエネルギースペクトルイメージングを実行でき、環状後方散乱検出器を用いて電子環状スペクトルイメージングを実行できる。

✔ ZEN Connectを使用してすべてのデータを集約し、細い発見を分けて報告します。

1 kV未満でのイメージング：専門知識を統合

Gemini 3光学系は低電圧と極低電圧下の分解能を最適化し、コントラストの増強を実現し、1 kVから30 kVまでのすべての動作条件下でイメージング効果が高分解能に達し、2つの互いに協働するコンポーネント：Nano-twin対物レンズと新しい電子光学エンジンSmart Autopilotを含むことを確保した。また、高分解能電子銃モードとオプションの試料台減速技術（Tandem decel）もあります。

解像度モード：詳細を表示

2つのモードにより、SEM画像の詳細とより多くのプローブ信号を得ることができる。高分解能電子銃モードでは、電子ビーム色収差が低下し、より小さなビームスポットを実現した、試料台減速技術モードでは、試料に減速電圧を印加することで、1 kV以下の画像分解能をさらに向上させ、後方散乱検出器の検出効率を高めることができる。

Nano-twin対物レンズの利点：

・低電圧と超低電圧でサブナノスケール分解能を達成し、より優れた信号検出効率を実現する。

・標準的なGemini対物レンズに比べて、低電圧での対物レンズ収差は3倍に低下し、サンプル上の磁場は約1 mTで3倍に低下した。

・幾何構造と静電場及び磁場分布を最適化する。

・低電圧イメージング条件下でのInlens検出器の信号の増強。

・これらの特性は、試料を電磁場に浸漬することなく、1 kV未満の条件下でサブナノスケールイメージングを完了する能力を提供する。

動作原理：

●Smart Autopilotは鏡筒を通過する電子軌跡を最適化し、各加速電圧下でできるだけ高い分解能を確保した。

・この自動機能により、拡大倍率全体（1倍から2000万倍）のシームレスなアライメントを自由に切り替え、観察視野を10倍に増やし、1枚の画像に13 cmの物体を結像することができる。

・32 k×24 kの画像記憶解像度と新しい概観モードとの結合合わせて、超大観察視野内で継ぎ目のない画素密度を確保します。

工業用顕微鏡ソリューション

典型的なタスクとアプリケーション

●力学的、光学的、または電子部品の故障解析

●破断分析と金相研究

●表面、微細構造及びデバイス特性評価

●成分と相分布

●不純物と介在物の決定

生命科学における応用

典型的なタスクとアプリケーション

●トポロジ構造の特徴付け

●感受性、非導電性、脱気性または低ライニングサンプルのイメージング

●細胞、組織などの超微細構造の高分解能イメージング

●連続スライスや断面イメージングなどの超大面積イメージングを行う