走査電子顕微鏡

蔡司EVOシリーズ

操作の直感的なモジュラー化走査電子顕微鏡プラットフォーム、日常検査と研究応用に適用

EVOシリーズと高性能を組み合わせた走査電子顕微鏡、顕微鏡の専門家と新しいユーザーに直感的で操作しやすい使用体験をもたらします。豊富なオプションにより、ライフサイエンス、材料科学、または日常的な工業品質保証と失効分析の分野でも、EVOはお客様のニーズに合わせてカスタマイズできます。

l顕微鏡センターまたは工業品質保証実験室用の多機能ソリューション

l実際のサンプルの優れた画像を取得する

l六ホウ化ランタン（LaB 6）エミッタを用いた高画質化

l非導電性及び非コーティング試料について優れたイメージングと分析

lワークフローの自動化とデータの完全性

インテリジェントなナビゲーションとイメージング

サンプル処理スループットの向上、生産性とパフォーマンスの向上

蔡司ナビゲーションカメラ

カメラは、サンプルと後方散乱検出器のポールシューとの間の相対的な位置を監視するためにサンプル倉に設置することができる(サンプルビンカメラ);または真空サンプル室のドアに取り付ける(ナビゲーションカメラ)を使用して、サンプルホルダー上のサンプルまたは部品の配置を概観します。このビューを使用して、光学顕微鏡画像によって識別される関心のある領域をプリセットし、サンプル検出プロセス全体を通じて容易なナビゲーションを実現することができます。

自動インテリジェントイメージング

EVOは、無人でロット間サンプルの自動画像収集を自動的に完了することができる。蔡司自動化インテリジェントイメージングは日常的な検出アプリケーションに適しており、ユーザーは境界領域を定義し、必要な観察視野または拡大倍率によって決定された関心領域を自動的に生成し、自動画像収集を開始することができ、それによってサンプル処理フラックスを高め、作業効率と性能を向上させることができる。

検出アプリケーションの新しい時代へ

六ホウ化ランタン（LaB 6）電子銃を用いたより豊富なデータの取得

従来のヘアピン型タングステンフィラメントに比べて、六ホウ化ランタン陰極の電子放出は必要に応じて、画像の細部ごとに展示されることを保証することができます。次の2つのメリットがあります。

l解像度などの電子プローブサイズが変化しない場合は、より高いプローブ電流を得ることができ、より簡単に画像ナビゲーションと最適化を行うことができます。

lプローブビームストリーム（信号対雑音比）が変化しない場合、ビームストリーム直径ははるかに小さくなり、画像解像度を高めることができる。

EVOは他の顕微鏡と良好に相互接続できる

ワークフローの自動化と関連する顕微技術からメリットを得る

アプリ

製造・組立工業

lしつりょうぶんせき/ひんしつせいぎょ

l故障解析/金相研究

l清浄度検査

l文字ISO 16232とVDA 19の第1第2部規格に準拠した粒子形態解析及び化学分析

l非金属介在物解析

半導体と電子部品

l電子部品、集積電気路、MEMSデバイス及び太陽電池の可視化検査

l銅線表面及び結晶構造検出

l金属腐食検出

l断面フェール解析

lフィレット検出

lコンデンサ表面イメージング

鋼その他の金属

l金属試料及び介在物の構造、化学特性及びその結晶構造のイメージング及び解析

l相、粒子度、溶接及び故障解析

原材料

l地質サンプルの形態、鉱物学と成分分析

l金属構造、破断及び非金属介在物のイメージング及び分析

l微粉化と造粒過程における原料化学品と活性成分の形態と成分分析

材料科学研究

l研究応用における導電性及び非導電性材料サンプルの特性評価

ライフサイエンス

l植物、動物、微生物を研究する

法医学

l銃撃残留物（GSR）

l塗料とガラス分析

l硬貨偽造

l髪と繊維のコントラスト

l法医毒理学