ツァイスZEISS電界放出走査電子顕微鏡Geminiシリーズ

ツァイスZEISS電界放出走査電子顕微鏡Geminiシリーズ詳細：

ツァイスZEISS電界放出走査電子顕微鏡GeminiシリーズGemini電子光学系を活用したGeminisEMシリーズの設計は、成熟した蔡司Gemini技術に基づいており、この技術は25年以上の使用歴がある。

このシリーズには完全に効率的な探査システムが搭載されており、優れた分解能と使いやすさなどの特徴を持つGemini対物レンズの設計には静電場と磁場が結合されており、光学性能を向上させると同時にサンプルへの影響をleastに低減する。したがって、磁性材料のような要求の厳しいサンプルであっても、高品質なイメージングを行うことができる。Gemini鏡筒の設計理念では、Inlensは二次電子（SE）と後方散乱電子（BSE）検出器を用いて効率的な信号検出を確保している。Inlens検出器はいずれも鏡筒内の正光軸上に配置され、再較正にかかる時間を削減しながら画像を取得する時間を効果的に短縮した。

Gemini電子ビーム推進器技術は非常に低い加速電圧の下で依然として小さなビームスポットと高信号対雑音比を得ることを保証することができ、また、それは電子ビームが鏡筒の中で運動する時に常に高加速電圧を維持することを確保し、鏡筒を出てから設定電圧に減速し、外部の不純物磁場がシステム感度に与える影響をより大きく減少させる。GeminiSEM 360、GeminiSEM 460、GeminiSEM 560の3つは、Gemini設計、Inlens検出器、電子ビーム推進器技術を使用しています。