ツァイスZEISS電界放出走査電子顕微鏡Sigmaシリーズ

ツァイスZEISS電界放出走査電子顕微鏡Sigmaシリーズ製品特徴：

長い間試されてきたGemini技術Sigmaシリーズの製品はGemini設計に基づいて開発されたもので、この技術はすでに20年以上も運用されており、絶えず磨きをかけて改善されており、完全で効率的な探査システム、優れた画像解像度と使いやすさなどの特徴を持っている。

ツァイスZEISS電界放出走査電子顕微鏡SigmaシリーズGemini対物レンズの設計は静電場と電磁場を結合し、光学性能を大幅に向上させると同時にサンプルへの影響を大幅に低減する。したがって、磁性材料のような要求の厳しい試料であっても、高品質なイメージングを行うことができる。Geminiの設計原理は、二次電子（SE）及び／又は後方散乱電子（BSE）の検出により効率的な信号検出を確保する。Inlens検出器は電子ビーム光路の正光軸に取り付けられ、再キャリブレーションの操作を減らし、イメージング時間を大幅に短縮した。Gemini電子ビームプロペラ技術は、超低加速電圧下で小ビームスポットと高信号対雑音比の画像を得ることを保証することができる。また、電子ビームが鏡筒内を移動する際に常に高加速電圧を維持し、鏡筒を出た後に設定電圧に減速することを確保し、外部の浮遊磁場がシステム感度に与える影響をより大きく低減する。Sigma 300とSigma 500の両方には、Gemini設計、Inlens検出器、電子ビーム推進器技術が適用されている。