ドイツのツァイスAxio Imager Vario光学顕微鏡

大型サンプルの検出–オートフォーカスシステムを持ち、超クリーンルームレベル要件を満たす

最小のMEMSセンサから超大XXLウエハ、またはプレート顕微鏡までを分析し、その間にサンプルに破壊を与えることはありません。最大300 mmの横方向移動距離と最大254 mmの垂直深さにより、Axio Imager Varioの下で大量のサンプルを検出できます。一体化機柱の設計は安定性を確保した。超クリーンルーム内でウェハを検出するためのアプリケーションであるAxio Imager Varioは、DIN EN ISO 14644-1標準認証を取得し、クリーン超クリーンルームレベル5の要件を満たしています。Z軸を駆動する電動モータとオートフォーカスハードウェアを使用して、より良いフォーカス位置に自動調整されることを確認します。

ドイツのツァイスAxio Imager Vario光学顕微鏡特徴：

2種類の手動と1種類のモーターカラム（工業規格に適合する3つのモード制御ボタンを備えている）を選択でき、顕微鏡の最大300 mm横方向と縦方向の移動距離と最高254 mm垂直深さの利点を十分に利用することができる。
Axio Imager Varioは、対物レンズターンテーブルの上下移動によってサンプルをフォーカスすることができます。これは、重いサンプルであっても、高精度の焦点精度と再現性が得られることを意味する。
オートフォーカスハードウェアを使用すると、低コントラストの反射サンプルを正確かつ迅速にフォーカスすることができます。
Axio Imager VarioはLSM 700と組み合わせて応用され、高解像度で無接触で敏感サンプルを分析する。
Axio Imager VarioはDIN EN ISO 14644-1標準認証を取得し、クリーンスーパークリーンルームレベル5の要件を満たしています。

超清浄室：

半導体製造とウエハ検出は超清浄室内で行う必要がある。DIN EN ISO 14644-1規格に基づき、1立方メートル当たりの粒子の数と大きさで異なる等級に区分した。スーパークリーンルームアプリケーションでは、Axio Imager Varioはこの標準認証に合格し、スーパークリーンルームレベル5の要件を満たしています。超クリーンルームISO 5レベルは、元のFED STD 209 E（1992）規格の100レベルに相当する。スーパークリーンルームキットには、7穴の対物レンズターンテーブル、粒子保護カバー、くしゃみ防止保護カバーが含まれています。

ドイツのツァイスAxio Imager Vario光学顕微鏡オートフォーカスハードウェア：

Auto Focusオートフォーカスハードウェアシステムを統合したAxio Imager Varioは、最大12,000µmの焦点捕捉範囲内で迅速かつ正確なフォーカスを実現します。工業生産と研究の検査応用において、対物レンズの被写界深度の0.3倍に達する集束精度の高い集束システムが必要です。この自動凝集ハードウェアは、反射光、透過光、明視野、暗場、偏光、微分干渉位相差及び斜照明観察方式を用いた応用に適している。