変温強誘電試験システム

FETS-2000は拡張性に優れている変温強誘電試験システムドイツのaixACCT社が生産したTF Analyzer 2000強誘電体アナライザに代わる国産強誘電体材料の性能試験設備でもあり、各種強誘電体/圧電体/放熱膜、厚膜、バルク材料と電子セラミックス、強誘電体センサ/アクチュエータ/メモリなどの分野の研究に広く応用できる。

強誘電体パラメータ試験の主な性能指標：

a.外付け5 kV高圧増幅器（10 kVまで拡張可能）（国産、輸入ともに適用可能）、

b.動的電気ヒステリシスループ試験周波数範囲0.01 Hz〜5 kHz、

c.最大電荷解像度：10 mC（拡張可能）；

d.疲労試験周波数300 kHz（振幅10 Vpp、負荷容量1 nF）、

e.漏れ電流測定範囲1 pA〜20 mA（拡張可能）、分解能0.1 pA、

f.高圧破壊保護モジュールを搭載；

g.温度範囲：−160℃〜260℃

本試験システムは、主制御器、高圧増幅器、変温総合試験プラットフォーム（配鉄電試験箱）又は高低温プローブ台（配高圧プローブ）、コンピュータ及びシステムソフトウェア部分から構成される。マスターコントローラはプログラマブル波形発生器、内蔵駆動電圧、電荷積分器、プログラマブル増幅器、アナログデジタル変換器、通信バスなどの機能を集積し、マスターコントローラは外部高圧増幅器インタフェースを拡張し、±5 kVまたは±10 kVの高圧増幅器を拡張することができる。システムソフトウェアには可視化データ収集と管理機能が含まれており、テスト時にテストサンプルの接続を変更する必要はなく、ヒステリシス、パルス、漏電、IVなどの性能テストを実現することができる。

本試験システムの強誘電性試験に採用改良されたソイヤー タワー測定方法は、従来のSawyer-Towerモードに比べて、この回路は外部容量をキャンセルし、寄生素子の影響を小さくすることができる。この回路の試験精度は積分器積分容量の精度だけに依存し、試験への影響一環を減少させ、スケーリングと較正を容易にし、しかも高い測定精度を実現することができる。

変温強誘電試験システムモジュール化設計を採用し、異なるモジュールは異なる電気特性測定に対応する。測定機能は次のとおりで、必要に応じて選択できます。

動的電気ヒステリシスループDHM

静電気ヒステリシスループSHM

I-V特性

パルスPUND

疲労Fatigue

電撃貫通強度BDM

リーク電流LM

電流-バイアス電圧

保持力RM

印影痕IM

温度変化テストTHM

オプションのモジュール：

POMモジュールは分極測定機能を実現する

CVMモジュールは小信号容量試験を実現し、C-V曲線を得る

PZMモジュールによる圧電特性試験の実現

DPMモジュールの誘電特性試験

RTMモジュール試験抵抗/抵抗率性能

CCDMモジュールは容量充放電試験を実現する。