強誘電総合試験システムTSDC/TSC試験

FETS-2000は拡張柔軟な強誘電総合テストシステムTSDC/TSCテストであり、電気ヒステリシスループをテストして貯蔵エネルギー密度を計算することができ、そして熱刺激電流TSDC/TSCをテストする機能を有する。各種強誘電体/圧電体/熱放電体薄膜、厚膜、バルク材料、電子セラミックス、強誘電体センサ/アクチュエータ/メモリなどの分野の研究に広く応用できる。

強誘電体パラメータ試験の主な性能指標：

a.外付け5 kV高圧増幅器（10 kVまで拡張可能）（国産、輸入ともに適用可能）、

b.動的電気ヒステリシスループ試験周波数範囲0.01 Hz〜5 kHz、

c.最大電荷解像度：10 mC（拡張可能）；

d.疲労試験周波数300 kHz（振幅10 Vpp、負荷容量1 nF）、

e.TSDC/TSC電流測定範囲1 pA〜1 uA（拡張可能）、分解能10 fA、

f.高圧破壊保護モジュールを搭載；

g.温度範囲：−160℃〜260℃

本試験システムは、主制御器、高圧増幅器、変温総合試験プラットフォーム（配鉄電試験箱）又は高低温プローブ台（配高圧プローブ）、コンピュータ及びシステムソフトウェア部分から構成される。マスターコントローラはプログラマブル波形発生器、内蔵駆動電圧、電荷積分器、プログラマブル増幅器、アナログデジタル変換器、通信バスなどの機能を集積し、マスターコントローラは外部高圧増幅器インタフェースを拡張し、±5 kVまたは±10 kVの高圧増幅器を拡張することができる。システムソフトウェアには可視化データ収集と管理機能が含まれており、テスト時にテストサンプルの接続を変更する必要はなく、ヒステリシス、パルス、漏電、IVなどの性能テストを実現することができる。

本試験システムの強誘電性試験は改良されたソイヤー タワー測定方法は、従来のSawyer-Towerモードに比べて、この回路は外部容量をキャンセルし、寄生素子の影響を小さくすることができる。この回路の試験精度は積分器積分容量の精度だけに依存し、試験への影響一環を減少させ、スケーリングと較正を容易にし、しかも高い測定精度を実現することができる。

強誘電総合試験システムTSDC/TSC試験モジュール化設計を採用し、異なるモジュールは異なる電気特性測定に対応する。主な機能は次のとおりです。

動的電気ヒステリシスループDHM

静電気ヒステリシスループSHM

I-V特性

パルスPUND

疲労Fatigue

電撃貫通強度BDM

高圧リーク電流試験LM

TSDC/TSC試験

電流-バイアス電圧

保持力RM

印影痕IM

温度変化試験THM。