薄膜強誘電性総合テスタ

FETS-2000b薄膜強誘電性総合テスタ動的ヒステリシスループ（DHM）、I-V特性、パルス（PUND）、静的ヒステリシスループ（SHM）、疲労（FM）、漏れ電流（LM）、電流-バイアス、保持力（RM）、印影（IM）の試験機能を有する.各種強誘電体/圧電体/熱放電体薄膜、厚膜、バルク材料及び電子セラミックス、強誘電体センサ/アクチュエータ/メモリなどの分野の研究に広く応用できる。

FETS-2000b薄膜強誘電性総合テスタプローブ台と組み合わせて使用することで、薄膜の強誘電性試験を実現することができる。動的電気ヒステリシスループ試験周波数と励起試験電源は、ユーザーが必要に応じて選択することができ、動的電気ヒステリシスループ試験周波数範囲は1 mHz～500 kHzが選択可能で、励起テスト電源±10/30/100/200/500 VACはオプションで、ユーザーのニーズに合わせてカスタマイズすることもできます。

本試験システムはマスターコントローラ、プローブ台、コンピュータ及びシステムソフトウェア部分から構成される。マスターに組み込み機器が組み込まれている励起試験電源、電荷積分器、プログラマブル増幅器、アナログデジタル変換器、通信バスなどの機能、システムソフトウェアは可視化データ収集と管理機能を含み、テスト時、テストサンプルの接続を変更する必要はなく、ヒステリシス、パルス、漏電、IVなどの性能テストを実現することができる。

本試験システムの強誘電性試験は改良されたソイヤー タワー測定方法は、従来のSawyer-Towerモードに比べて、この回路は外部容量をキャンセルし、寄生素子の影響を小さくすることができる。この回路の試験精度は積分器積分容量の精度だけに依存し、試験への影響一環を減少させ、スケーリングと較正を容易にし、しかも高い測定精度を実現することができる。

本システムは外付け高圧増幅器のインタフェースを提供し、高圧テスト、高圧リーク電流テストを行う必要があるユーザーに対して、直接この機能を拡張することができる。

ユーザーはこの設備を選択して、メーカーにテスト周波数、インセンティブテスト電圧などの要求を提供しなければならない。

テスト機能：

• 動的電気ヒステリシスループ（DHM）

• I-V特性

• パルス（PUND）

• 静電気ヒステリシスループ（SHM）

• 疲労（FM）

• リーク電流（LM）

• 電流-バイアス電圧

• 保持力（RM）

• プリント（IM）

拡張可能部品：

• プローブ台