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メール
zhaoqiannan@sevenstar.com.cn
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電話
18610520676
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住所
北京経済技術開発区景園街13号院
製品分類
北京華丞電子有限公司
概要
VS 100真空圧力スイッチは、圧力抵抗式圧力センサを用いて、媒体の圧力変化を検出し、予め設定された圧力動作点と比較して、圧力をスイッチ量信号に変換する。集積回路、パッケージ、半導体照明、パワー半導体、化合物半導体の分野に応用されている。
製品詳細
革新的なポイント
動作圧力点は有効に品目種類と顧客在庫品類を減らすことができる
圧力動作点設定は75〜735 Torr、20〜990 Torrなどを含む。
精度が高い
従来の機械式真空スイッチに代わることができる。
応用分野
半導体-集積回路
半導体-パッケージ
はんどうたいしょうめい
パワー半導体
化合物半導体
技術指標
| モデル | VS100 | |
| レンジ及び圧力動作点設定 | レンジ | 圧力動作点設定 |
| 絶圧750 Torr | 75～735 Torr | |
| 絶圧1000 Torr | 20～990 Torr | |
| 表圧-750～750 Torr | -150-110 Torr | |
| 注：圧力動作点設定値は一般的に1%*FS～99%*FS | ||
| デフォルト設定 | 汎用モデルのデフォルトは、上限アラーム、動作点99%FS、遅延2%FSです。 タイミングを設定するには、ベンダーが提供する専用ソフトウェアとケーブルを使用する必要があります。 | |
| せいど | ±0.5%FS | |
| ろうえいりつ | 1x10以下-9atm.cc/sec 彼 | |
| おんどひょうはくけいすう | 0.1% FS/℃ | |
| 運転温度範囲 | 0～80℃ | |
| たいあつげんかい | 定格圧力の2倍 | |
| ばくはあつ | 定格圧力の5倍 | |
| プロセス側材料 | 316L Ss SEMI F20/ハステロイ C-276 | |
| 給電電圧 | 24V±10%VDC | |
| 出力 | 受動接点リレー出力（1 NO，1 NC）が電源投入されない場合、NOはオン、NCはオフ | |
| 電気インタフェース | 散線/DB 9 male | |
| 動作点設定方式 | 出荷前設定/クライアント設定 | |
| インタフェースタイプ | 1.125"Cシール/1.125"Wシール/4VCR/KF25（NW25）/KF16 | |
