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メール
zhaoqiannan@sevenstar.com.cn
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電話
18610520676
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住所
北京経済技術開発区景園街13号院
製品分類
北京華丞電子有限公司
概要
BV 200バタフライバルブはデジタル型圧力制御類バルブ製品であり、ガス圧力の制御に高い精度と高い信頼性を提供している。このタイプの製品はデジタル信号制御に対応し、単電源+24 VDCで電力を供給する。
製品詳細
革新的なポイント
2パス自己整合圧力センシング技術
2ウェイ真空ゲージ信号収集をサポートし、±15 V或いは±24真空ゲージ給電に対応し、プロセスの需要に応じて自動的にレンジを切り替えることができる。
自己学習機能技術
独学機能をサポートし、異なるチャンバ真空システムと異なる動作状況に適応でき、迅速で正確な圧力制御を実現する。
L-V-P圧力制御技術
圧力制御ユニットはプロセス環境下の圧力とバルブ開度の関係を記録することによって、位置、速度と圧力の3つのリングを用いて結合し、同時に圧力比、位置圧力比、目標圧力位置、目標圧力に到達する推定時間の長さの動的計算を行い、それによって弁口開度の変化量に積極的に介入し、迅速、安定制御圧を実現する。
サーボ駆動技術
カスタムサーボ制御片載置システムを採用し、多点ランプ制御アルゴリズムを通じて、蝶板のより速い位置決めを実現し、スイッチ応答時間は0.2秒に達することができる。
応用分野
半導体-集積回路
パワー半導体
技術指標
| モデル | BV200 | |
| 材質 | バルブボディ/バルブプレート | アルミニウム合金6061/ステンレス鋼613 L |
| シャフト/バルブプレートネジ | ステンレス316 L | |
| じくうけスリーブ | lglidur X | |
| ベアリングシールリング | 環境端 | FKM |
| 真空端 | FKM | |
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バルブボディリーク率 | ステンンレス材質 | 1×10E-9 mbar ·L/s |
| 通信インタフェース | RS 485（D-sub female、DB 25）またはDeviceNet（DNET航空プラグ） | |
| 給電口 | インタフェースタイプ | D-サブ男性、DA15 |
| 電圧 | +24 VDC | |
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消費電力 | 制御/駆動 | 40W |
| 使用環境 | 温度 | 0 ~ 50度、35度以下での使用を推奨 |
| 湿度 | 0〜95%RH | |
| ゲージインタフェースパラメータ | インタフェースタイプ | D-サブ女性、DA15 |
| しんごうでんあつ | 0～10 VDC線形圧力 | |
| ADC分解能 | 0.1 mV | |
| サンプリング時間 | 2ms | |
| 給電電圧（出力） | 最大+24 VDC/1.5A。 | |
| エグゼキューター | ステッピングモータ | |
| モータ分解能 | 12800(90°) | |
| せいぎょあつせいど | 5 mVまたはセットポイントの0.1%を大きくして | |
| 保護等級 | IP 40 の | |
| チャネル内径 | 40mm/50mm/63mm/80mm/100mm | |
| バルブプレート開閉時間 | 0.2秒 | |
注意：
バタフライバルブの出荷時にはセンサ信号を電圧で標定することが多い
ガス圧力の単位は、Torr（Torr）、mbar（ミリバール）
標準状態は：温度--273.15 K（0℃）、気圧：101325 Pa（760 mm Hg）
華丞電子PC製品において、単位SCCMと「mL/min、0°c、1 atm」は同等であり、単位SLMと「L/min、0℃、1 atm」は同等である
F.S.（フルスケール）：フルレンジ値、S.P.（Set Point）：設定点値
